中古 BOC EDWARDS W 75 #88073 を販売中
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ID: 88073
Wet scrubber
Part no: NPU571000
120/208V, 60 Hz
1 phase, 4W
9.5 FLA
8 Amp motor
10,000 I.A.C.
Specified for:
Hydrogen
Nitrogen
Hydrogen Chloride Anhydrous
Dichlorosilane
Germane.
BOC EDWARDS W 75ウェーハとマスクスクラバーは、半導体製造において優れた品質と高度な性能を提供するように設計されています。このスクラバーは、汚染を最小限に抑えてウェーハやマスククリーニングを改善する機能を備えています。それに二重ブラシの技術と結合される強力なモーターが、あらゆる表面の優秀なスクラブの性能を提供するあります。ブラシの周波数と速度を調整できるため、基板の洗浄性能を最適化できます。エッチング、リソグラフィ、化学機械平面化(CMP)、フォトレジスト、パターニングプロセスなど、幅広い用途に使用できます。W 75は完全密閉されたユニットで、空気中の粒子汚染を最小限に抑えるために単一の換気ダクトで設計されています。このような機能の広い範囲を持っています。ユーザーがクリーニングプロセスの頻度そして速度を調節することを可能にするユーザーフレンドリーなデジタル制御、5回転速度および可変的なブラシの動き。スクラバーには緊急停止機能も備えており、緊急時にはユーザーがシステムをシャットダウンできるようになっています。このユニットには、廃液を集めるための10リットルの封止されたステンレス製の貯水池が取り付けられており、こぼれや汚染を防ぎます。スクラバーには、洗濯室と貯水池への便利なアクセスのための2つの簡単に開いた蓋があります。さらに、オペレータがタンクと基板の温度を監視できるように温度計が組み込まれています。BOC EDWARDS W 75は、危険な発煙や過度の騒音汚染を引き起こさないクリーンルーム用途に最適な効率的なスクラバーです。その堅牢な構造と低消費電力は、追加の利点です。そのモジュラー設計は容易な維持およびクリーニングを可能にします。結論として、W 75ウェーハとマスクスクラバーは、半導体製造において優れた性能と洗浄精度を提供するように設計された先進的な機械です。それはそれをあらゆるクリーンルームか製作設備のための理想的な選択にする、デジタル制御、調節可能なブラシの動きおよび緊急停止機能の範囲を特色にします。
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