中古 BOC EDWARDS Tempest #9218196 を販売中

BOC EDWARDS Tempestは、洗浄されたウェーハとマスクを厳密に洗浄するために設計されたウェーハとマスクスクラバーです。スクラバーとリンスステーションの両方を備えたデュアルデザインで、手動ハンドリングと化学物質漏れの両方を排除し、汚染のリスクを最小限に抑えます。スクラバーは、2つの別々のコンパートメントにある複数のモーター駆動の反回転ブラシを使用して、効果的なスクラブとクリーニング操作を行います。カウンターユーザー回転は、洗浄液を均等に分配し、スクラブゾーン内の特定の場所での溶液の蓄積を防ぐのに役立ちます。スクラバーは容易なクリーニングの設計のPTFE上塗を施してあるステンレス鋼から造られ、速く、容易な維持のためのすべての内部部品への開いたアクセス。スクラバーには、洗浄パッドの寿命を延ばすために、溶液を清潔で熱い状態に保つためのヒーターと濾過装置も装備されています。洗浄ステーションには2つの独立したクリーンゾーンがあり、デュアルスクラブ機能とともに、異なる材料間の優れた洗浄性能を保証します。リンスステーションには、材料の変化を検出し、それに応じてリンスパラメータを調整するセンサーが装備されています。さらに、各リンスステーションは、特定の給湯タンクとポンプで設定して、すすぎ水の量をカスタマイズすることができます。お湯があふれ、高速シャットオフバルブを組み合わせることで、オーバースプレーやクロス汚染を防ぎます。マスクスクラバーは、AタイプとBタイプの両方のマスクを使用して、ハードとソフトの両方のマスキング材料をきれいにすることができます。Tempestは、DI水、エチレングリコール、帯電防止、アルコール、塩基酸など、いくつかの標準化学物質と互換性があるため、さまざまな材料に使用できます。また、バブル抑制システムを内蔵しているため、スプラッシングを最小限に抑えながら、低コストで安定した化学使用を保証します。このユニットは、スクラバー内に内蔵の層状空気ストリームを使用しており、粒子間の衝突を防ぎます。これにより、水しぶきが軽減され、スクラブが非常に効果的であることが保証されます。また、使用していないときは大気が密閉され、ポンプツールがスタンバイモードのままであるため、機械もエネルギー効率が高くなります。全体として、BOC EDWARDS Tempestは非常に効率的で信頼性の高いウェーハおよびマスクスクラバーであり、短時間で最高品質の結果を提供するように設計されています。その特徴は、最も汚れたマスクやウェーハでさえも洗浄することができ、汚染のリスクが低く、化学的使用が最小限に抑えられます。