中古 BOC EDWARDS System #9038519 を販売中

BOC EDWARDS Equipmentは、半導体グレードのウェーハやマスクから、さまざまな表面汚染物質を効率的に洗浄するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。システムには、一連のジェットスプレー、温水タンク、および水道水を脱イオン水に変換する化学濃縮装置が含まれています。最大20枚のウェーハまたは12枚のマスクを一度にクリーニングでき、クリーニングサイクル時間は17分未満です。BOC EDWARDSユニットは、最大10個の洗浄ノズルを使用したジェットスプレーエリアから始まります。この領域は、すべてのタイプの汚れ、グリット、ほこり、およびその他の表面残留物を完全に除去するように設計されています。ウェーハとマスクは、最大限のカバレッジを確保するために慎重に設計されたジェットスプレーの下を通過します。ジェットスプレーエリアに続く自動給湯タンクです。これは、残っている残留物をさらに洗浄して洗い流すために使用されます。このタンクには、水中の化学濃度を絶えず消滅させる循環式ウォーターポンプも装備されています。機械は次に、超ろ過された水道水がケミカルフリーの脱イオン水に変換されるケミカルコンセントレータに移動します。この水は予熱されてから温水タンクに送り返されます。そこからウェーハとマスクはエアナイフドライヤーに運ばれます。高速連続空気流を利用し、ウェーハやマスクを徹底的に乾燥させ、水分を含まないドライヤーです。BOC EDWARDSツールの最終段階は、オゾンリンスモジュールです。このモジュールは、オゾン（O3）をAssetに導入し、消毒剤として機能し、清潔さの余分な層を提供します。それは付加的な公衆衛生の利点を提供している間細菌および有機化合物を破壊する。BOC EDWARDS Modelの動作中の安全性と効率性を確保するために、プログラマブルロジックコントローラ（PLC）が付属しています。これにより、簡単なトラブルシューティング、自動化されたデータロギング装置、および簡単なリモート監視が可能になります。さらに安全性を高めるために、BOC EDWARDS Systemには、アラーム機能とオーバーライド機能のためのオンボードコンピュータコントロールユニットも搭載されています。BOC EDWARDSマシンは、さまざまなアプリケーションに適した効率的で信頼性が高く、使いやすいウェーハとマスクスクラバーです。一連の強力なジェットスプレー、温水タンク、ケミカルコンセントレータ、オゾンリンスモジュールを組み合わせることにより、ツールは不要な残留物を避けながら、17分未満で最大20ウェーハまたは12マスクを洗浄することができます。さらに、自動化されたオンボードコンピュータ制御は、安全性とセキュリティのさらなる層を追加し、操作のトラブルシューティングとリモート監視を容易にします。