中古 BOC EDWARDS System #9038511 を販売中

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ID: 9038511
ヴィンテージ: 2008
Prewash line 415VAC/3ph/160A 2008 vintage.
BOC EDWARDS Equipment (BOC EDWARDS Equipment)は、半導体ウェーハおよびマスクの安全で効果的な洗浄のために設計されたウェーハおよびマスクスクラバー(別名スピンウォッシャー)です。このシステムは、今日の半導体生産の需要の増加と高スループット要件に最適です。これは、最も厳しい業界基準を満たし、最適な性能を提供する、信頼性とエネルギー効率の高いスクラバーです。BOC EDWARDS Unitは、複数のウェーハとマスクを同時に回転させることができ、生産性を最大化する自動マシンを備えています。ウェーハやマスクの欠陥や粒子を検出する高度なCCDビジョンとセンサーで設計されています。BOC EDWARDSツールは、これらの敏感なコンポーネントの静電気を除去し、粒子の形成を防ぐ統合された静的除去キャビネットで設計されています。スクラバーは、プロセスと同期を監視するプログラム可能な制御アセットを備えており、ユーザーは最適な結果を得るためにクリーニングサイクルとパラメータをカスタマイズすることができます。BOC EDWARDSモデルには、最も安全な洗浄方法を提供するために低水準の洗剤を使用するスクラバー液体タンクが装備されています。スクラバーはまた、最も頑固な粒子を除去しながら、コンポーネントを穏やかに効果的にきれいにすることができる強力なウォータージェットを備えています。また、ウォータースプレーガンを使用して、コーナーやヌックなどの手の届きにくい場所を清掃することができます。タンクには粒子を捕捉する強力なろ過装置が装備されており、洗浄のための最も安全な環境を確保しています。スクラバーには独自の濾過BOC EDWARDSシステムが付属しており、最大10ミクロンの粒子をろ過することができます。フィルターは低圧レベルを維持しながら同時にスクラブするように設計されており、全体的な性能を向上させます。自動ドアロック、安全カバー、非常停止ボタンなどの高度な安全機能を備えています。さらに、このBOC EDWARDSマシンは、エラーや誤動作の場合に自動シャットダウンプロトコルで設計されています。また、水温を監視する内蔵の検出器も含まれており、安全で管理された洗浄環境を保証します。ツールは、最大の効率と柔軟性のために設計されています。使いやすいLCDディスプレイを搭載しており、簡単な操作とメンテナンスが可能です。基本的なラボソフトウェアや生産ソフトウェアと互換性があり、生産および研究アプリケーションに最適です。この高度なスクラバーは、ウェーハやマスクを洗浄するための安全で信頼性の高いソリューションです。
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