中古 ATTO ATS 601-AT #9249407 を販売中
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ATTO ATS 601-AT Automatic Wafer and Mask Scrubberは、あらゆる種類のウェーハおよびマスク材料を迅速かつ効果的に洗浄および洗浄するために設計された自動精密ツールです。後処理サイクルの最適化と切削後のクリーンアップに最適なこのスクラバーは、最適な粒子除去のための精度、信頼性、再現性を保証します。ATS 601-ATは、超音波トランスデューサと組み合わせた高圧流体システムを使用して、ウェーハやマスクの表面から粒子状物質、酸化物、ほこりなどの汚染物質を除去する強力で安全で効果的なスクラブ方法を作成します。このスクラバーは、調節可能な圧力、周波数、体積、およびPTFE製のオペレータ制御スクラブヘッドを提供しています。スクラバーは無人運転のための高度なプログラミングを備えており、最適な洗浄のために複数のスクラブエリアを一度に実行できます。内蔵の接続ポートにより、ネットワークシステムとの統合が可能になり、プロセス制御が向上します。ATTO ATS 601-ATは、高度な制御システムと組み込みの安全機能も提供しています。このスクラバーのデザインは頑丈で広々としていて、2フィート×3フィートのステンレス製ワークデッキがあります。その補強された軸受けおよび堅い鋼鉄構造は操作の間に優秀な安定性および精密を保障します。また、低騒音と振動のために設計されており、静かで快適な作業環境を実現しています。また、ATS 601-ATはエネルギー効率が高く、運用が非常に経済的で信頼性が高く、メンテナンスフリーでダウンタイムを最小限に抑えることができます。さらに、それはすべてのヨーロッパの安全基準を満たしているため、クリーンルームのアプリケーションに最適です。ATTO ATS 601-ATは、他のモデルよりも速くウェーハやマスクスクラブを実行し、後処理サイクルと粒子除去の効率を保証します。アプリケーションの要求に基づいて専門的なソリューションを提供し、その優れた機能により、あらゆるタイプのウェーハやマスク材料をスクラブするのに理想的な選択肢となります。
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