中古 ATMI / ECOSYS Vector Ultra 6000 #9246744 を販売中

ATMI/ECOSYS Vector Ultra 6000は、半導体産業のために設計された最先端のウェーハおよびマスクスクラバーです。ATMI Vector Ultra 6000は、自動スクラバーアーム、垂直ノズル装置、強力な浄水システム、クイックプログラマブル設定などの高度な機能を使用して、集積回路やその他の敏感な電子部品の開発者に完全なソリューションを提供します。ECOSYS Vector Ultra 6000は、自動スクラバーアームを使用して、一度に複数の10インチおよび12インチのウェーハを洗浄することができます。このアームは、完全なカバレッジを確保し、スクラッチまたは不均一なスクラブの可能性を減らすために、特定の順序でウェーハをスクラブするようにプログラムすることができます。スクラバーアームはスクラビングチャンバー内に配置され、スクラビングプロセス中にウェーハを確実に固定します。縦のノズルの単位は中型および高圧クリーニングの技術にカスタマイズされます。このマシンは、ウェーハサイズと形状ごとに調整することができ、全体的に一貫したクリーニングを提供します。ノズルは、ウェーハが完全にスクラブされていることを確認するために、スピン、振動、または静止したままに設定することができます。さらに、チャンバー天井の固定ノズルは、ウェーハの周りのDI水の高圧ジェットを指示し、徹底的な洗浄を行います。ベクトルUltra 6000は、非常に効果的な70ミクロン定格の水のろ過ツールを利用しています。このアセットは、ATMI/ECOSYS Vector Ultra 6000で使用される水を浄化し、スクラブ後のウェーハ上に粒子が残らないようにします。このモデルはまた、メンテナンス要件を低減するためのセルフクリーニング対策を実行します。これは、ダウンタイムを最小限に抑える必要がある生産会社にとって特に役立ちます。ATMI Vector Ultra 6000は、素早く直感的なメニューを使用してプログラムされています。プログラムはスクラビング前に設定することができ、スクラビングチャンバーに入ることなく素早く設定を変更できます。ユーザーフレンドリーなメニューと設定により、開発者はスクラビングパラメータをすばやく調整し、スクラビングプロセスを簡単に完了できます。ECOSYS Vector Ultra 6000は、集積回路やウェーハなどの敏感部品を洗浄するのに理想的なソリューションです。その特徴は、スクラブが最高水準で実行され、コンポーネントが汚染されないままであることを保証します。