中古 ATMI / ECOSYS Vector Ultra 3000 #9265769 を販売中

ATMI/ECOSYS Vector Ultra 3000は、シリコンウェーハやフォトマスクなどの敏感基板の正確で信頼性の高い再現性の高い洗浄の必要性を満たすように設計された高度なウェーハおよびマスクスクラバーです。ATMI Vector Ultra 3000は、洗浄プロセスを最適化し、最適な結果を得るために特別に設計されています。ブラシスクラビング装置、独立した流体力学スクラバー、ダイレクトコンタクトスクラビング、デュアルスクラビング制御、統合顕微鏡カメラ、高圧脱離水洗浄装置、加熱乾燥装置などがあります。ブラシスクラビングマシンは、高速モーターを使用して2つの独立したブラシヘッドを駆動します。ブラシヘッドは、基板の表面全体に均一なスクラブを提供するために、互いに反転または同期しています。これにより、すべての汚染物質が均等に除去されます。2つ目のスクラビングツールは、流体力学スクラバーです。これは、高度なノズルアセンブリを使用して、表面汚染物質を除去するために基板に向けられた脱イオン水の超微細ジェットを生成します。デュアルスクラブ制御アセットは、ブランチヘッドの速度と流体力学的制御設定を調整して最適な洗浄結果を得ることができます。統合された顕微鏡カメラは、オペレータにリアルタイムの視覚フィードバックを提供し、クリーニングプロセス全体の画像をキャプチャするように構成することができます。ECOSYS Vector Ultra 3000は、高圧脱イオン水洗浄モデルも備えています。これにより、洗浄薬品のすべての痕跡が除去され、すべての汚染物質が徹底的に洗い流されます。最後に、加熱乾燥装置はVector Ultra 3000に統合されます。これには、デュアルホットエアノズルと、蒸発を加速し、基板から水分を迅速かつ効率的に除去するために一緒に動作する調整可能なファンのセットが含まれています。結論として、ATMI/ECOSYS Vector Ultra 3000は、これまでにない洗浄プロセスを可能にするように設計された高度なウェーハおよびマスクスクラバーです。ブラシスクラビングシステム、独立した流体力学スクラバー、デュアルスクラブ制御、統合顕微鏡カメラ、高圧脱イオン水洗浄ユニット、加熱乾燥機により、一貫した信頼性の高い結果を提供しながら、費用対効果の高い洗浄ソリューションを提供することができます。