中古 ATMI / ECOSYS Vector Ultra 3000 #9061874 を販売中

ATMI/ECOSYS Vector Ultra 3000は、半導体製造プロセスで使用するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。多種多様なウェーハおよびマスクサイズで、表面洗浄作業を迅速かつ効率的に行うことができます。ATMI Vector Ultra 3000は、超音波振動とスプレースクラビング技術の独自の組み合わせにより、基板へのダメージを最小限に抑えた徹底した洗浄動作を実現します。この最先端のウェーハおよびマスクスクラバーは、半導体ウェーハおよびマスク製造の厳しい環境に理想的に適しており、ダウンタイムや摩耗、エッチング、歪みのリスクを最小限に抑えた優れた洗浄動作を提供します。ECOSYS Vector Ultra 3000は、3段階の洗浄プロセスを使用して、最適な表面洗浄結果を保証します。最初の段階では、スクラバーに石鹸水の溶液が充填され、洗浄するすべての表面があらかじめ浸漬されるようにします。第2段階では、超音波振動プロセスを利用して表面を攪拌し、物質の深部に潜む可能性のある土壌や粒子を分解します。第3段階と最終段階は、すべての土壌や粒子が溶液の穏やかなスプレーによって洗い流されることを保証するスプレースクラビングプロセスです。このプロセスは、表面を完全にきれいにし、汚染から解放します。Vector Ultra 3000は、直径200mmまでのフラットウェーハから、ビンスプリットおよびバイナリコードされたウェーハまで、あらゆるタイプのウェーハを洗浄するように設計されています。スクラバーには2つのフレキシブルスプレーアームが装備されており、さまざまなウェーハとマスク形状のクリーニングが可能です。スクラバーには調整可能なスプレー圧力設定があり、粗い表面粒子や頑固な残留物の洗浄が可能です。ATMI/ECOSYS Vector Ultra 3000には、潜在的に危険な物質がユニットに侵入するのを防ぐ包括的な安全システムも含まれています。ATMI Vector Ultra 3000のすべてのコンポーネントは、高級で耐食性のある材料から製造され、長寿命で信頼性の高い寿命を保証します。スクラバーはモジュール式に設計されており、既存の生産プロセスに簡単に統合できるため、ダウンタイムや設置の中断を最小限に抑えられます。ECOSYS Vector Ultra 3000は完全に自動化されており、あらゆる外部入力から独立して実行でき、半導体業界で効率的で費用対効果の高い洗浄ソリューションを提供します。