中古 AOC MAST-3000-AT #9145578 を販売中

AOC MAST-3000-ATは、現代の半導体産業におけるフォトマスク調製の効率と精度を向上させるために設計された、高性能の自動ウェーハおよびマスクスクラバーです。スクラバーは、最大6インチ（150 mm）のレチクルと最大10インチ（250 mm）のウェーハに対応できる高度な装置で、最大1。2 kgのマスクホルダー重量を備えています。それはすべての標準的なフォトマスクのクリーニングの解決および緩衝代理店と互換性があります。MAST-3000-ATは、クリーニングプロセスで最高の品質と一貫性を確保するために、速度、圧力、およびドウェル時間を制御するなどのスクラブ動作を自動化するための包括的な機能を提供しています。スクラバーには、ステッピングモーター駆動のデュアルスクラブホイールが装備されており、広い範囲で均一で一貫したスクラブを保証します。また、ウェーハまたはマスクホルダー間の迅速かつ簡単な移動を可能にする調整可能なヘッドを備えています。このシステムは、空中の粒子や発煙を制御するための強力で静かな換気ユニットを提供します。さらに、スクラバーには、万が一の流出を防ぐために緊急時に開くことができる安全カバーが付属しています。スクラバーには、耐食性と耐久性を最大限に高めるステンレス製の構造も備えています。AOC MAST-3000-ATは、高度なモーションコントロールアルゴリズムと画像処理機を使用して生産スループットを最大化するように設計されています。スクラバーは、カスタム構築されたモーションコントロールアルゴリズムを使用して、ウェーハまたはマスクのそれぞれに最適なスクラビングパターンを計算し、ツールをユーザーの要件と仕様に合わせてカスタマイズできます。この機能により、スクラブ処理の全体的な精度と一貫性が向上します。さらに、スクラバーは、ウェーハ表面の傷などの損傷を検出できる画像処理アセットを提供します。スクラバーには、モデルとお客様の他のシステム間のデータ転送を可能にする標準インターフェイスも装備されています。MAST-3000-ATは、半導体業界の大小のウェーハ洗浄プロセスに理想的な強力で信頼性の高いスクラバーです。それは現代の生産環境のための費用効果が大きく、有効な解決です。