中古 ACCRETECH / TSK A-CS-100A #9375854 を販売中

ID: 9375854
ヴィンテージ: 2002
Manual spin cleaner No peripherals 2002 vintage.
ACCRETECH/TSK A-CS-100A Wafer&Maskスクラバーは、マイクロプロセッサなどの高精度コンポーネントの製造をサポートするために設計された自動マイクロエレクトロニクス製造ツールです。この機械は、業界標準の正確な要件を満たすために、脆弱な層と繊細な微細な機能を保護しながら、繊細な基板の洗浄と受動化を可能にします。TSK A-CS-100Aは、独自のCoated Solution Dispensing Equipment (CSDS)を使用して設計されています。これは、すべての基板表面に洗浄および不動態化ソリューションを正確に混合し、均一性と一貫した品質基準を保証する独自の機能です。特許取得済みのCSDSは、微生物を保持しながら、有機的なビルドアップと汚染を防ぎ、プロセスコストとサイクルタイムを削減する均一なコーティング層を保証します。また、CSDSシステムは「ランインプレイス」機能を備えており、生産を中断することなくマシンをリセットすることができます。ACCRETECH A-CS-100A Wafer&Maskスクラバーは、基板に損傷を与えずにきれいになるように設計された3段階の洗浄プロセスで設計されています。濡れたプロセスと乾いたプロセスの両方が組み込まれており、均一な洗浄を保証するために発振と拭き取り動作を採用しています。ウェットクリーニングのために、マシンはスクラバー、ポンプメディアとスピンジェットメディアの2つのジェット機の組み合わせで動作し、基板のアンダーカットとサイドウォールに到達するのが困難です。一連のドライワイピングステップは、特許取得済みの布なしのゴムクラッドブラシと組み合わせて、さらにクリーニングを容易にします。また、頑丈な衝撃・振動制御ユニットを搭載しており、荷重や荷降ろし時の損傷からデリケートな部品を保護します。このマシンは、長持ち、クリーナー、および損傷のないプロセスを維持するのに役立ちます。また、AFM制御の傾斜角度機構を採用し、部品の正確な配置とアライメントが可能です。さらに、A-CS-100Aは、欠陥のあるウェーハを拒否するためのウェットとドライオプションの両方を提供しています。全体として、ACCRETECH/TSK A-CS-100Aは、今日のマイクロエレクトロニクス業界のますます厳しい品質要件を満たすための正確で効率的なツールをユーザーに提供します。クリーニングプロセス、衝撃および振動制御、傾斜角度制御により、微細な機能を維持し、コストを削減しながら、敏感な基板をクリーニングおよびパッシベーションできます。
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