中古 ACCRETECH / TSK A-CS-100A #9123958 を販売中

ACCRETECH/TSK A-CS-100Aは、半導体ウェーハ製造プロセスおよびCMPプロセスで使用するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。それはクリーンルームの環境で使用することができる自動、プログラム可能な、多機能スクラバーです。TSK A-CS-100Aは、最新の最適化されたCMP研磨技術を使用して、高品質で高精度な表面処理結果を得ることができます。このスクラバーはベルトマシンデザインを備えており、ワーク形状に影響されないため、均一なプロセスを提供します。最新の技術により、ACCRETECH A-CS-100Aは高度で効率的な洗浄機能を保証します。また、周囲環境に起因する異物を防ぐために、自動分離・洗浄機能を備えたエアフィルターユニットを内蔵しています。このスクラバーには、15のプリセットレシピプログラム、手動および半自動プロセスコントロール、およびパラメーター編集など、幅広い安定した研磨を保証する機能が装備されています。また、A-CS-100Aには液晶モニターを備えたタッチオペレーションパネルがあり、プロセスの簡単な操作と監視が可能です。このスクラバーには、自己診断システム、直線とねじれ方向に対応する滑車状のワークテーブル、ハーモニック駆動制御などの他の標準機能も含まれています。ACCRETECH/TSK A-CS-100Aは、ワークの汚染を防止するために、研磨スラリー安全システムやクリーンルーム環境で異物を検出するエアフィルトレーションシステムなどの安全関連機能も備えています。さらに、緊急停止スイッチと自動フロントドアの両方を備えており、緊急時やオペレーターがクリーンルームに入る必要がある場合には、プロセスを停止するために使用することができます。TSK A-CS-100Aには、運転中のノイズレベルを低減するために設計された高速真空排気ファンシステムも装備されています。結論として、ACCRETECH A-CS-100Aは、クリーンルーム環境で使用するために設計された高度な自動ウェーハおよびマスクスクラバーです。このスクラバーには、15のプリセットレシピプログラム、手動および半自動プロセスコントロール、パラメーター編集、およびエアフィルトレーションシステムなどの幅広い機能が装備されています。さらに、研磨スラリーA-CS-100A安全システムや非常停止スイッチ、自動フロントドアなどの安全関連機能も備えています。ACCRETECH/TSK A-CS-100Aは、ウェーハ製造プロセスおよびCMPプロセスにおいて、高品質で高精度な表面処理結果を提供するために最適化されています。