中古 ACCRETECH / TSK A-CS-100A #9100958 を販売中

ACCRETECH/TSK A-CS-100A Wafer&Mask Scrubberは、半導体ウェーハやマスクを傷つけることなく、または有害物質を生成することなく洗浄するように設計されたオールインワンロボットスクラビングツールです。それはグローブボックス、実験室、または生産環境に置くことができます、従ってそれはいろいろな操作で使用することができます。この装置は、2つのスクラブアームと防水フレームを使用して、ウェーハとマスクの両側に同時にスクラブを提供するように設計されています。腕にはシリコンスクラバーが装備されており、繊細な材料を損傷から保護しながらウェーハやマスクをスクラブすることができます。スクラバーは、スクラブの正確な圧力と速度、およびその他のパラメータを制御できるPCに接続されており、正確なクリーニング結果を保証します。このPCはスクラバーへのインタフェースとしても機能し、ユーザーはあらかじめ決められたスクラビングパターンを設定したり、ウェーハの読み込みや返却などの機能を手動で実行することができます。さらに、スクラバーには、汚染されたウェーハをスクラビングフレームから除去するように設計された自動ウェーハ投げ機構が装備されています。TSK A-CS-100Aの洗浄能力は、洗浄後にウェーハやマスクを迅速かつ効率的に乾燥させることができる一連のエアナイフを使用した内蔵乾燥システムによってさらに強化されています。これにより、部品の洗浄にかかる時間を短縮するだけでなく、ウェーハやマスクから残留水がすべて除去され、水害やその他の汚染を防ぐことができます。最後に、ACCRETECH A-CS-100Aには堅牢なモニタリングユニットが付属しており、ウェーハやマスクのスクラブ状態を表示するために使用できます。このデータは、USB経由で外部PCにエクスポートして分析することもでき、すべてのウエハとマスクがきれいであることを確認するのに役立ちます。結論として、A-CS-100Aは高い精度と効率で半導体ウェーハやマスクを洗浄することができる高度なロボットスクラビングマシンです。繊細な材料を損傷から保護するように設計されており、乾燥ツールとモニタリング機能が内蔵されているため、科学研究や生産環境に最適なツールです。