中古 ACCORD M-400 #9223538 を販売中

ACCORD 400は、半導体製造に使用されるウェーハおよびマスクスクラバーです。これは、最大30ウェーハ/時の速度を提供し、高スループットのために設計されています。400は50mmから200mmまで及ぶさまざまなウエハーのサイズを収容する調節可能なブラシ道を特色にします。スクラバーには、精密で均一なスクラブアクションを可能にする電子ワンドがあります。スクラバーは、オペレータを保護するための安全半径で設計されており、ウェーハやマスクへの汚染のリスクも最小限に抑えられています。スクラバーには、さらに汚染率を低減するのに役立つUVランプも装備されています。スクラバーのトップパネルはスクラビングヘッドへのアクセスを提供し、オペレータがブラシを素早く簡単に交換できるようにします。スクラバーは「、高貴なガス」環境として知られている特別な種類の環境を利用しています。このスクラバーは、高純度の高貴なガスで、きれいで低くダスティングされた無酸素環境を無停止で提供することができ、真空チャンバーから粒子を絶えず除去します。高貴なガスは、オイルベースのスクラビングシステムと比較して、比類のないレベルの粒子除去を提供します。また、このスクラバーには静電気を最小限に抑える静電気コーティングが含まれており、ウェーハまたはマスク表面に蓄積することができます。化学分散装置は、異なるプロセスに使用できる化学物質を容易に選択することができます。スクラバーはまた、洗浄された表面から粒子を除去するための塵の排気システムを提供します。ACCORD 400は、高効率で信頼性の高いウェーハとマスクスクラバーです。その調節可能なブラシパスおよび先端技術は優秀な汚染の防止およびクリーニングの効率を提供します。スクラバーは安全性を念頭に置いて設計されており、オペレータに安全半径とUVライトを提供し、汚染からさらに保護します。さらに、スクラバーには静的散布コーティング、化学分散装置、粉塵排気装置があり、スクラブ表面に粒子が残らないようにしています。これにより、スクラブサーフェスが清潔で汚染のないままであることが保証されます。