中古 ACCORD 400 #9355546 を販売中

ACCORD 400は、大量のウェーハおよびマスククリーニング用途向けに設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。直径18インチまでのウェーハのスクラブや乾燥が可能で、マスクは25インチx 32インチまでのサイズです。スクラブの表面は耐腐食性ステンレス製で、内部は頑丈で耐摩耗性があり、熱的に安定したプラスチックで構成されています。スクラバーには、効率的な空気循環と冷却のためのエアインテークとコンセントも装備されています。400ウェーハとマスクスクラバーには、均一なスクラブと乾燥機能を提供するように設計された強力な4モーターアレイが装備されています。各モーターは、全体的なスクラブと乾燥期間を低く保ちながら、スクラブ工程の速度と力を変化させるように調整することができます。スクラバーには、レベル13からレベル3。5まで調整できる高さ調節可能なスクラブ可能な表面も備えています。調節可能な高さは、ウェーハまたはマスクバスへのほこり、粒子および汚染物質の侵入に対する優れた保護を提供する環境エンクロージャを作成するのに役立ちます。スクラバーには、ケミカルフィルターと高効率粒子空気（HEPA）フィルタからなる2段階のろ過装置も備えています。化学フィルターは化学粒子および他の汚染物を取り除き、HEPAフィルターはサブミクロンの粒子および他の汚染物を取除きます。両方のろ過段階は、スクラブと乾燥プロセスのためのほぼ滅菌環境を作成するように設計されています。また、最高レベルのスクラブおよび乾燥性能を確保するために、スクラバーには自動クリーニングサイクルが装備されています。さらに、ACCORD 400ウェーハとマスクスクラバーは、自動化されたチャンバードアの開閉ユニットと視聴覚警報機を備えています。これにより、チャンバーの過負荷、電源の中断、またはプログラミングのエラーが発生した場合に、効率的な操作と警報担当者を確実にします。400は一貫した、信頼でき、強力なクリーニングの性能を提供するように設計されている非常に信頼できるウェーハおよびマスクのスクラバーです。それは大量のウエハおよびマスクのクリーニングの塗布のための理想的なスクラバーです。