中古 ACCORD 400 #293656296 を販売中

ACCORD 400は半導体産業で使用するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。このマシンは、エッチングやその他のプロセスから残留物を除去するために、ウェーハやマスクの表面をきれいにしてスクラブするために使用されます。レーザーと光検査機能を統合した高度に自動化された装置です。このウェーハとマスクスクラバーは、ステンレススチールフレームと一連の回転ディスクで構成されています。ディスクはDCモーターによって動力を与えられ、調節可能な速度で動くように設計されています。スクラバーは制御された環境を持ち、ウェーハまたはマスク表面のクロス汚染を低減するように設計されています。スクラバーはボールベアリングを使用したテンションドライブシステムも備えており、最大のスクラブ圧力を提供するように設計されています。400は最先端のレーザーおよび光学検査装置が装備されています。この機械は欠陥のためのウェーハかマスクの表面を点検し、表面の質の相違を検出するようにプログラムすることができますまたは微細粒子。また、SPC（統計プロセス制御）を統合した統合プロセスおよび生産監視システムも備えています。これにより、スクラバーはスクラビングプロセスの一貫性を監視し、不適合な機能を検出することができます。スクラバーはまた2つのタイプの磨く頭部を特色にします；平らな頭と角の頭。フラットヘッドはウェーハの表面のような平面面に最適ですが、コーナーヘッドは複雑な形状や特徴を持つ領域に適しています。スクラバーの調整可能な速度は、ウェーハまたはマスクが最も効率的な方法で必要なレベルに研磨されることを保証します。ACCORD 400はまた、スクラビングプロセスの環境が必要なパラメータ内に保たれることを保証する湿度制御ツールを備えています。さらに、スクラバーには、スクラブ処理中に作成された粒子をキャプチャする集塵アセットもあります。この集塵モデルは、スクラブ表面がほこりや他の汚染物質から解放されていることを保証します。400ウェーハとマスクスクラバーは、スクラビングプロセスの精度と一貫性を確保し、廃棄物の削減と生産性の向上に役立つため、半導体業界にとって優れた選択肢です。マシンは完全に自動化されており、統合されたレーザーおよび光学検査機能、調整可能なスクラブ速度、および集塵および湿度制御装置を備えています。