中古 ACCORD 400 #101468 を販売中
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ACCORD 400は、クリーン性を維持し、マイクロエレクトロニクス製造に使用されるウェーハおよびマスクの寿命を延ばすように設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。これは完全に自動化されたツールであり、最小限の操作とスクラビングプロセスの迅速化が必要であり、半導体アセンブリプロセスの不可欠な部分となっています。スピンドルスタイルのスクラビングヘッドを使用して、表面全体に均一な液体ベースのスクラビングアクションを生成し、同時にウェーハまたはマスクの両面をきれいにすることができます。スクラブ媒体は2つの内部クリーニングポンプを介して実行されます。特別な洗浄液を供給するものと残留粒子を抽出するものです。また、ウェーハやマスク表面の残留粒子の蓄積を防ぐために、余分な圧力を放散することができるベンチュリシステムを備えています。スクラビングヘッドは最大4500 rpmの可変速度で回転でき、さまざまなタイプの洗浄結果に最大限の汎用性を提供します。スクラブの高さと傾きは、ユーザーの要件ごとにさらに調整することができます。スクラビングヘッドには、さらなる効率化のための振動機構と、さらなる脱汚染のための電子ブラシが装備されています。400はまた取り外し可能な部品の設計のためにメンテナンスに適しています。これには、自動セルフクリーニング機能とインラインクリーニングタンクが含まれており、機器のダウンタイムを最小限に抑えます。この工具は腐食に対して高度に校正されており、使用される洗浄薬品は腐食や残留物の堆積を防ぐために処方されています。さらに、8インチまでのサイズのメディアを安全に処理できるように設計されています。インデックス作成メカニズムにより、サイクルごとに最大200個のウェーハとマスクを作成できます。内蔵のコンベアシステムにより、ウェーハとマスクが整然とタイムリーに処理されます。全体として、ACCORD 400は高精度と高スループットの両方の機能を提供する効率的なスクラビングシステムです。これは、さまざまな半導体デバイスに深く洗浄された効果的な仕上げを提供するために使用され、寿命を大幅に改善し、製造プロセスの貴重な部分となります。
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