中古 YASKAWA XU-RVM4100 / XU-RVM4110 #293642781 を販売中

YASKAWA XU-RVM4100/ XU-RVM4110 Wafer Handlerは、半導体デバイスやフォトニクス機器におけるウェーハディスクの高精度処理を目的としたロボット機器です。このウェーハハンドラは、1つまたは2つのカセットまたはフレームを搭載した直径600mmまでのウェーハの周りを移動できるロボットアームで構成されています。ロボットアームには強力なモーターが搭載されており、水平および垂直の動きに最大0.4Hzの速度を発揮します。XU-RVM4100/ XU-RVM4110には高解像度のビジョンシステムが搭載されており、レーザー干渉や振動を必要とせずに正確なウェーハの位置決めと把握が可能です。ウェハハンドラは、非常にコンパクトなフォームファクタとシンプルなユーザーインターフェースを特徴とするXU-RVM4000シリーズのロボットプラットフォームに基づいています。その高度なソフトウェアは、信頼性の高い精度でウェーハやその他のオブジェクトの堅牢なロードとアンロードを可能にします。さらに、YASKAWA XU-RVM4100/ XU-RVM4110は、お客様のご要望に応じて、複数の使用場所と柔軟なモジュラー設計をサポートします。ウェーハ処理能力は1サイクルにつき最大50個、ウェーハ処理能力は最大350個です。ウェハハンドラは、デュアル衝突検出センサや複数レベルのESD保護などの複数の安全機能を備えています。また、ロボットアーム内部の圧力センサーを使用して、ロボットとウェーハの接触を検出し、損傷を防ぎます。XU-RVM4100/ XU-RVM4110は、SEMI-F47規格およびCEマークに準拠しています。また、SEMI 、 、 、 、 、 E14、およびその他の安全規格要件を満たしています。YASKAWA XU-RVM4100/ XU-RVM4110ウエハハンドラは、最高の柔軟性、スピード、精度、信頼性を提供するように設計されています。半導体およびフォトニクス用途向けに大量のウェーハを処理するための信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供します。このウェーハハンドラは、効率の向上、歩留まりの向上、生産の増加をユーザーに提供します。