中古 YASKAWA XU-RCM6501 #293656479 を販売中

YASKAWA XU-RCM6501は、半導体ウェーハ加工に適したロボットベースのウェーハハンドラです。制御された環境で2インチのシングルウェーハを保持し、輸送できるように設計されています。XU-RCM6501は、自動化された生産ラインで使用するためのさまざまな機能を提供します。YASKAWA XU-RCM6501はシングルアームとツインアームの両方でご利用いただけます。シングルアーム構成では、最大容量75kgの8インチウェーハに対応可能です。ダブルアーム構成は、最大容量118。8 kgの8インチウェーハに対応できます。これは、毎分200サイクルまでの速度を達成することができます。ウェハハンドラには、サーボモータとアブソリュートエンコーダによって駆動される高精度の3軸ロボットアームが装備されています。これにより、ウェーハの正確かつ再現性の高い位置決めが可能になります。また、精度と再現性を向上させるために使用されるビジョンカメラとレーザー距離測定システムを内蔵しています。XU-RCM6501は360度の回転を提供し、直径300mmまでのウエハを扱うことができるフリッパーアームを特色にします。フリッパーアームにより、ウェハは生産ライン内の複数のステーション間を移動できます。安川XU-RCM6501には、ウェハハンドリングの安全性を高めるために設計された統合安全システムも含まれています。安全システムには、ロボットの適用領域のカバーと、予期しないエラーを防ぐセンサーが含まれています。さらに、XU-RCM6501は、キャリアの自動ロードとアンロード、ロボットアームの自動クリーニング、さまざまなプログラム可能な速度設定など、インストールをカスタマイズするための多くのオプションを備えています。全体的に、YASKAWA XU-RCM6501は、さまざまなサイズのウェーハを正確かつ安全に処理できる、効率的で信頼性の高いロボットベースのウェーハハンドラです。XU-RCM6501の高度な機能は、ウェーハの一貫した高速処理を必要とする生産ラインに最適です。