中古 YASKAWA XU-RC350D-J03 #293615372 を販売中

YASKAWA XU-RC350D-J03は、半導体加工およびウェハプロービング用のウェハーの確実な搬送、傾斜、スピンウェットハンドラです。この機械は300mmおよび200mmのウエハサイズのためにとりわけなされます。垂直または水平の構成を持ち、360°回転機能を備えた固定ボウルを備えています。XU-RC350D-J03はテーブルの動き装置およびボール動きシステムに基づいています。一度に1枚のウエハを扱うことができ、反復可能な傾きやスピンウェット動作も可能です。テーブルモーションユニットは、最高900mm、 0。01mmの位置決め精度と10mm/秒の高速動作を備えています。ボウルの動き機械に0。25°の反復性および250 °/s2の最高の加速の完全な360°回転機能があります。YASKAWA XU-RC350D-J03には、プロセスに応じてウェーハ位置のゾーンサイズを調整する自動センタリング装置が装備されています。また、ウェーハカセットを使用してウェーハの保管と自動ローディングを行うこともできます。XU-RC350D-J03は耐久およびエネルギー効率が良いように設計されています。ウエハ加工用の-5°C〜90°Cの広い温度範囲を有し、0.7MPa〜1.1MPaの大気圧の範囲で動作できます。イーサネット、パワーオーバーイーサネット、および/またはUSBを介した予防保守および外部ネットワーク通信機能のための診断ツールが内蔵されています。YASKAWA XU-RC350D-J03は、コンパクトで軽量な設計で、生産ライン内に簡単に設置できます。また、学習曲線を減らすために直感的なプログラミングと操作で、非常に人間工学的でユーザーフレンドリーであるように設計されています。XU-RC350D-J03はオールインワンウェーハハンドラで、さまざまなプロセスに信頼性の高い操作と柔軟性を提供します。