中古 YASKAWA XU-F3000-CN04 #293614933 を販売中
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YASKAWA XU-F3000-CN04は、生産工場や研究室のニーズに合わせて設計されたデジタルウェハハンドリング装置です。このシステムの設置面積が小さく、同じ生産ラインで他のモジュールやコンポーネントを多数使用することができます。XU-F3000-CN04には高度なフィードバック制御ユニットが装備されており、正確で反復可能な動作を保証し、プログラミングやセットアップを必要としません。このマシンは4軸ドライブを搭載しており、手動位置決めの必要性を排除し、正確なウェーハ移動を保証します。4軸それぞれに独自のドライブモータと独立したエンコーダが装備されているため、モジュラー性が高く、幅広い用途に対応できます。さらに、堅牢な機械設計により、最大250lbsの負荷容量を処理できるため、幅広いウェーハ処理プロセスに適しています。予めプログラムされた制御ツールは正確なモーションプロファイルを提供し、ウェーハの転送中にウェーハが損傷したり著しく誤ったりしないようにします。このアセット独自のモーションコントロールは、リニア補間に基づいており、ウェーハを5ミクロンの精度で正確に配置することができます。精度、反復可能な結果、高スループットを確保するために、モデルはさまざまなセンサーとフィードバックデバイスを使用しています。安川XU-F3000-CN04では、ウェーハやライン作業者を保護するために設計されたさまざまな安全機能も提供しています。デュアルゲートドアインターロック装置は、生産を開始する前に両方のゲートが安全に閉じられていることを保証し、怪我の潜在的なリスクを低減します。さらに、センサーが異常を検出した場合にユニットを停止する自動シャットオフ機能を搭載し、事故や機器の故障のリスクを低減します。全体として、XU-F3000-CN04はさまざまなアプリケーションに適した高性能で信頼性の高いウェーハハンドリングマシンです。その高度なフィードバック制御ツールとデュアルゲートインターロック資産は、正確で反復可能な動作を保証し、潜在的なリスクから人員とウェーハを保護します。また、モジュール性の高い設計により、追加のモジュールや部品を生産ラインに組み込むことができ、半導体生産の開発においても理想的な選択肢となっています。
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