中古 YASKAWA TBD #9187160 を販売中

半導体ウェハトランスファー装置YASKAWA TBDは、完全自動化された非接触ウェハハンドリング装置です。柔軟なモジュラー設計により、特定のユーザーのニーズに合わせたカスタムソリューションを提供します。TBDは、ハンドラ、ロードポート、ロボットという3つの独立したモジュールを備えています。Handlerモジュールは、クリーンな環境でウェーハを安全かつ安全に輸送するように設計されており、ユーザーのニーズを満たすために標準コンポーネントとカスタムコンポーネントの両方が含まれています。ウェーハチャンバー内の安定した環境を維持するための正の空気圧システムと、直感的なオンボードセーフティライトカーテンを備えています。Load Portは、YASKAWA TBDとホストユニットのインターフェースです。多軸ロボットアームは、特定のウェーハを認識、識別、選択するだけでなく、非接触ウェーハ処理用の真空グリッパーを備えています。また、ほとんどの標準的なウェーハカセットや、ユーザーの要件に合わせたカスタムカセットとも互換性があります。ロボットモジュールは、関節式シャトルアーム設計を採用しており、ハンドラーからロードポートにウェーハを転送することができます。ウェーハ位置を検出し、適切な転送を保証するために、さまざまなセンサーで構成することができます。また、基本的なウェハソート操作にも対応しています。TBDは信頼性が高く、転送エラーとダウンタイムを削減するように設計されています。それはさまざまなタイプのウエハおよびカセットと互換性があり、実質的にあらゆる既存のホストマシンとインターフェイスすることができます。ソフトウェアは非常に直感的でユーザーフレンドリーで、さまざまなパラメータを簡単に設定できます。全体として、YASKAWA TBDはクリーンルームの自動化と半自動ウェハハンドリングのための魅力的なソリューションです。これは、ユーザーのニーズに関係なく、多くのウェーハ処理タスクに信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供します。