中古 YASKAWA SV3/XRC #293614917 を販売中

YASKAWA SV3/XRCウェーハハンドラは、高まる自動ウェーハ処理の要求に応えるために設計された、高性能で費用対効果の高いウェーハハンドリングソリューションです。このデバイスは、高温および粉塵に満たされた生産環境での堅牢で信頼性の高い動作を提供するように設計されています。回転トラバースメカニズムを備えた固定フレームを備えており、非常に高い位置決め精度と生産性を実現しています。デバイスのモジュール構造により、頻繁で簡単なアップグレードが可能になり、容量を増やし、ダウンタイムを短縮し、生産性を向上させます。SV3/XRCウェハハンドラは、精密加工されたギアトレインに結合された強力なモーターによって駆動されます。このギアトレインは、最大1 μ mの再現可能な位置決め精度と、非常に低いバックラッシュと高剛性を提供することができます。さらに、ブラシレスで、低電圧動作とソフトスタート機能を備えた高性能な制御システムを搭載しています。このツールには、ジョブのセットアップと実行を簡素化するように設計された多数の自動化機能があります。これには、静的および動的ビームスプリッタ光学系と統合されたオンボードビジョンシステムが含まれます。このビジョンシステムは、ウェーハエッジを自動的に高精度に整列させるだけでなく、光学機器にエラーのないウェーハポジショニングを提供することができます。さらに、IEEE 488。2、 RS-232、 SCPIなどの高度なプログラミングインターフェイスを備えています。これらの機能と強力なモーターと自動化されたセットアップを組み合わせることで、シンプルで高速な操作が可能になります。このデバイスは信頼性が高く、汚れた工場フロアや高温動作条件などの過酷な環境でも故障なく動作するように設計されています。さらに、モーター過負荷保護やE-Stopコマンドを内蔵し、すべての動きをすばやく停止させるなど、さまざまな安全機能を備えています。さらに、ウエハハンドラは最大10個のプログラムを格納するように構成することができます。つまり、異なるウエハと異なる処理ジョブをすばやく切り替えることができます。これにより、半導体製造やパッケージング、回路基板、自動車の電子部品など、さまざまな業界のウェハハンドリングのニーズに最適なソリューションとなります。