中古 YASKAWA SGD-01AN #193016 を販売中

YASKAWA SGD-01ANウェーハハンドラは、クリーンルーム環境における半導体ウェーハの取り扱いと位置制御に使用されるロボットアームです。ウェーハの精密かつ再現可能な動きを提供するように設計されており、再現性は+/-0。02mm、位置精度は+/-0。1mmです。SGD-01ANは、直径200mm、重量7。7kgまでのウェーハに対応可能です。ロボットアームは6度の自由度を持ち、拡張された動作範囲と汎用性のための追加のオプションの手首モジュールを備えています。垂直範囲は880mm、先端角度は360°、肩軸は± 340°、肘の軸は≤ 235°の回転範囲があります。ロボットアームには、Robotic Command Language （RCL）およびNetwork Command Language （NCL）経由の通信用のイーサネットポートも含まれています。YASKAWA SGD-01ANは、様々なウェーハアプリケーションのニーズに合わせた様々なモーションプロファイルを提供する高度に構成可能な制御モジュールを備えています。様々なモーションコントロール機能を設定でき、波形、補間コマンド、同期コマンド、絶対/増分参照、ホーム参照、ティーチング属性作成、センサー入力、安全機能が可能です。クリーンルームの操作は、クラス10クリーンエアフィルターシステムを使用してサポートされています。これにより、ウェーハはできるだけ多くの清潔さと予防メンテナンスで処理されます。SGD-01ANウェーハハンドラは、長い使用期間にわたって信頼性とパフォーマンスのために設計されています。ロボットアームは、メンテナンスなしで最大24時間連続運転が可能です。また、業界標準のPLCコントローラと、信頼性の高い制御入力とフィードバック制御を提供する電圧キーパーコントローラも備えています。また、クリーンルーム環境に欠かせないモーションセーフティ機能をサポートするYASKAWA SGD-01AN。それはまた連続的な動き検出、障害物の回避および手首ガードカバーを可能にし、ハンドリングプロセス中のオペレータの安全そして間違いの回避に導きます。全体として、SGD-01ANは信頼性の高い性能と動作安全機能を備えた効率的で堅牢なウエハハンドリングソリューションを提供します。YASKAWA SGD-01ANは、精密な動作、拡張範囲、および設定可能なモーションプロファイルにより、ウェハアプリケーションに最適です。