中古 YASKAWA DX200 #293634164 を販売中

YASKAWA DX200は、自動化されたウェハハンドリングプロセスの信頼性と正確な動作を提供するために設計された高性能ウェハハンドラです。特許取得済みの独自技術「Auto-Lift」を使用して、負荷/アンロード処理中にウェーハを正確かつ再現可能に配置します。最大6インチ（152 mm）のウエハサイズで、1時間あたり最大200個のウエハを処理DX200ます。高速10インチの真空ノズルを搭載し、信頼性の高いウェーハを素早く正確にピックアップします。ウェーハの位置は、ムーブメント中にウェーハを追跡することができる内蔵のレーザーセンサーで正確に決定され、正確な配置が保証されます。また、取り扱い時のウェーハの汚れを防ぐ自動洗浄ステーションも備えてDX200ます。DX200のコントローラーは直感的で使いやすく、直接言語とグラフィカルディスプレイを備えています。また、高度な診断機能とメンテナンス機能を備えており、オペレーションがスムーズかつ効率的に実行されるようになっています。YASKAWA DX200のキャビネットは、既存のオートメーションシステムに簡単に統合できるように設計されています。それはまたシステムを涼しく、きれい保つために統合されたスリラーおよび環境の灰フィルターを含んでいます。高度な安全機能により、システムが潜在的な危険から保護されます。また、ウェーハの自動マーキングやアライメントのためにDX200に組み込むことができる、オプションの自動レーザーマーカーを提供しています。ウェハボンディングやエッチングなどの半導体プロセスでの使用に最適です。YASKAWA DX200は、負荷/アンロードプロセス中にウェーハを確実かつ正確に配置する完全自動化されたウェーハハンドラであり、研究、産業、商用アプリケーションに適しています。