中古 YASKAWA DR1-04AC #9214286 を販売中

YASKAWA DR1-04ACは、ツールカセットから基板にウェーハを積み下ろしするために使用されるウェーハハンドラで、プロセスの正確なアライメントと自動化を提供します。高精度アライメント、低消費電力、低ノイズ動作、統合安全装置など、さまざまな機能を提供します。DR1-04ACは精密なステンレス鋼フレームおよび特別に開発された真空の移動システムによって最高の正確さおよび信頼性を提供します。レーザーとエンコーダーを使用した高度なアライメントユニットを搭載し、正確なアライメントを実現します。また、オプションのUVビジョンマシンを搭載し、ウェーハを正確に操作できます。統合された保護ツールは、ウェーハのロードとアンロード中に基板を汚染または破損から保護するのに役立ちます。安川DR1-04ACも低騒音運転を誇っています。ダイレクトドライブモータを搭載し、回転部からのノイズを低減し、正確な位置決めと速度制御を可能にします。さらに、その低消費電力は、エネルギーを節約し、運用コストを削減するのに役立ちます。DR1-04ACは、標準的なウェーハカセットで動作するように設計されており、1つの操作で最大4つのウェーハを処理でき、多くの外部ウェーハハンドリングシステムとインターフェースすることができます。フィールドバス通信により、このツールを生産ラインに統合することができ、複数のユニット間で必要なパラメータをファイル転送するためのダブルクリック操作が可能です。要するに、YASKAWA DR1-04ACは、精密かつ統合された安全機構を備えたウェーハの正確で信頼性の高い積み下ろし用に設計されています。ステンレススチールフレームと高度なアライメントアセットは、ロードおよびアンロードされたウェーハの品質と完全性を確保するのに役立ちますが、低ノイズ動作と低エネルギー消費により、費用対効果の高いウェーハ処理プロセスが促進されます。様々な外部ウエハハンドリングシステムとの高い互換性により、信頼性と柔軟性がさらに向上し、あらゆるウエハハンドリング生産ラインに最適です。