中古 YASKAWA CACR-PR01 #193015 を販売中

YASKAWA CACR-PR01は、半導体製造プロセス向けに設計された高速ウェハハンドラです。高精度のウェーハ位置決めと高速ジェスチャーベースの動作を実現する高度なサーボ制御装置で設計されています。CACR-PR01は、2つの高精度DCサーボモータ、時間を節約するYmasterコントローラ、およびユーザーフレンドリーなタッチパネルスクリーンを内蔵し、信頼性の高いウェーハ処理システムを提供します。YASKAWA CACR-PR01は、最大重量100グラムの直径3〜4インチの最大200ウェーハに対応可能です。統合されたリフト/ロードとアンロードステーションを備えており、1つのカセットに安全で簡単に転送できます。CACR-PR01には、チルト、パン、回転などの幅広い動作が含まれており、正確なウェーハの位置決めと向きが可能です。モーション範囲は、非接触線形軸をそれぞれ0。0025mmと0。008度の高精度分解能で備えています。YASKAWAのCACR-PR01は容易なユーザー操作のための高解像度、LEDバックライトを当てられた色LCDのタッチ画面が装備されています。グラフィカルユーザーインターフェイスは、プログラムとメニューへの迅速なアクセスを提供し、クイックセットアップとユニットの変更を可能にします。高度な診断により、改善されたウェーハ処理プロセスのフィードバックが得られます。CACR-PR01はPLC/NCとの互換性に加え、Ethernet経由でPLCにデータをストリーミングする機能も備えています。YASKAWA CACR-PR01には、安心のための数多くの安全機能が含まれています。リフト/ロードステーションからウェーハのオーバーフローやウェーハの放出、突然の衝撃や負荷の不一致を検知し、即座に動作を停止させることができます。また、DCサーボモータCACR-PR01安全トルクリミッターを搭載しており、過剰トルク状況による損傷を防止します。YASKAWA CACR-PR01は、時間に敏感なウェーハ製造プロセスを処理するために特別に設計されており、プロセスサイクル間で迅速にウェーハを移動できます。高度なモーションコントロールマシンは、安定した信頼性の高いウェーハムーブメントを提供します。さらに、使いやすいグラフィカルインターフェイスにより、シンプルなモーションコントロールと高精度のウェーハの向きが可能です。これにより、従来のウエハハンドリングシステムと比較して、精度と再現性が向上します。さらに、ウェーハCACR-PR01取り扱う際に安心してお使いいただける安全機能も充実しています。