中古 YASKAWA 5010 #293652550 を販売中

YASKAWA 5010は、YASKAWA Electricが半導体業界で使用するために設計したウェハハンドラです。ロボットアームベースのウェハハンドラで、幅広いプロセスタスクに適しています。200mmから600mmまでのサイズでウェーハを転送でき、200mmは1時間あたり最大250個、300mmは1時間あたり150個のウェーハを転送できます。3本のリニアアクスルを装備し、部品の正確かつ正確な動きを可能にし、ウェーハの正確な取り扱いを保証します。5010はアルミニウムフレームおよび高精度なサーボモーターによって運転される3線形軸線から成っています。これは、ウェーハの位置と向きを認識して追跡するためのビジョンシステムを備えています。ビジョンシステムは、さまざまなプロセスを修正し、ウェーハを正確に配置することができます。精密なウエハハンドリング機能は、非常に高速で再現性に優れているためです。YASKAWA 5010はまた、直線軸と回転軸の両方で非常に迅速に移動することができます。コントローラはPLCベースで、ユーザーフレンドリーで簡単に設定できます。5010にまた有効な、制御された真空のチャッキングのメカニズムがあります。この機能は、ウェーハ表面が損傷しないようにしながら、ウェーハを安全に保持します。さらに、真空チャッキング機構は、ウェーハの正確かつ正確な転送を提供するのに役立ちます。また、ウェーハ加工時の温度制御や作業環境の最適化にも使用できます。安川5010の先進安全機能も注目です。データストレージ用のソフトタッチEEPROMメモリを備えており、重要なプロセスデータを安全に処理できます。ユーザーフレンドリーなGUIインターフェースにより、5010の操作を簡単に設定および制御できます。また、自己診断機能も備えており、エラーを簡単に分離および修正できます。要するに、YASKAWA 5010は、さまざまなプロセス作業に適した信頼性の高い効率的なウェーハハンドラであり、200mmから600mmのサイズのウェーハを処理するために使用することができます。高度な安全機能、ビジョンシステム、正確なチャッキング機構を備えており、ウェーハの正確で信頼性の高い取り扱いを保証します。さらに、そのコントローラはユーザーフレンドリーで構成可能であり、操作が簡単です。