中古 WINS FSD-200M/A #293642795 を販売中

WINS FSD-200M/Aウェーハハンドラは、クリーンルーム環境内で半導体ウェーハを正確、一貫して効率的に転送、上昇、位置特定するように設計された最先端のロボット化システムです。このデバイスは5軸、7軸可能であり、カセット転送をメインアームグリッパーに自動的に同期させることができます。FSD Busと呼ばれるインタフェース通信プロトコルにより、FSD-200M/Aウェハハンドラはメインアームユニット、転送ユニット、および昇降ユニットをリンクして特定の距離内でウェハーを移動および輸送することができます。また、メインアーム内に光学スキャナを埋め込んでリアルタイム測定を行い、必要に応じてウェーハの位置を決定・変更します。FSD-200M/Aウェハハンドラのメインアームは、最高速度450mm/secの200mmのグリップ能力を備えています。搬送ユニットは、カセットからウェーハを拾い、昇降ユニットに移動するように設計されています。昇降ユニットは、クリーンルーム内の1つのプロセス・ステーションから別のプロセス・ステーションにウェーハを持ち上げて移動するように設計されており、上下に移動できるベースプレートと、1つのウェーハを最大250mmまで持ち運べるリフト・プラットフォームを備えています。また、FSD-200M/Aウェハハンドラには、デジタル双方向温度補償メカニズムが組み込まれており、正確な温度測定と調整が可能です。この機能により、デバイスはさまざまなプロセスに適応するために速度と力係数を調整することができます。さらに、FSD-200M/Aウェーハハンドラの高度な視覚機能により、常に正確なウェーハのピッキングと配置が保証されます。FSD-200M/Aのウエハハンドラは、24V DC電源で駆動され、耐久性のあるスチールフレームとメッキで構成されているため、信頼性が高く、過酷な動作条件に耐えることができます。その全体的な設計と性能、その高度な機能と相まって、WINS FSD-200M/Aハイテク半導体プロセスアプリケーションの多数のための優れた選択肢となります。