中古 WECON LS-368D #9217672 を販売中

WECON LS-368Dは、ウェーハ製造工程における真空チャンバー前面のウェーハおよびカセットの自動処理用に設計された精密ウェーハハンドラです。ウエハサイズは200mmまで対応可能です。ウエハハンドリングに便利な平行面を提供するためのトッププレートを備え、耐久性を高めるためのすべての金属構造を備えています。LS-368Dは、ロボットアームやロボットシステムとインターフェースしてウェーハを効率的に取り扱うように設計されています。精密光学センサを搭載しており、ウェーハを検出して正確なグリップと放出を行います。ボトムテーブルからフラットウエハを上げるリフト機構を採用し、入出力に便利です。また、ベルト上のカセットの移動を容易にするために、ベルト駆動ローラーの配列が提供されています。また、異なる角度のコンベア間でウェーハを容易に転送するためのチルト機構を内蔵しています。また、WECON LS-368Dはユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えており、ほぼすべての真空チャンバーと互換性があります。前方および後方の操作に対応し、損傷を最小限に抑えたウェーハハンドリング機能を強化します。また、最適なパフォーマンスを確保するための機能とパラメータの広い範囲を提供します。さらに、より大きなウェーハを扱うための他のウェーハハンドラと組み合わせることができ、既存のウェーハファブラインに簡単に統合できます。LS-368Dは、ウェーハおよびカセットの取り扱いをより簡単かつ効率的にするように設計された、信頼性が高く、耐久性があり、ユーザーフレンドリーなウェーハハンドラーです。