中古 WECON LS-360 #9247173 を販売中

WECON LS-360は、半導体製造に使用される自動ウェハハンドラです。ウェハトランスファーおよび検査プロセスの生産性と精度を向上させるように設計されています。その先進的な機能により、LS-360は最大300mm、 35mmの厚さのウェーハを扱うことができます。WECON LS-360は、1時間あたり最大36個のウェーハを転送することができ、生産と品質を向上させるための高速で信頼性の高いウェーハハンドラです。LS-360は6軸ロボットアームを備えており、ウェーハを正確に把握・操作することができます。アームは、加工機に転送される前に、欠陥のあるウェーハを検出できるビジョン装置と統合されています。また、ウェーハ表面の異常検査も可能で、正確かつ効率的なプロセス制御が可能です。WECON LS-360には、スムーズで安全なウェーハ搬送を実現する一連のセンサーとフィードバック装置が搭載されています。このセンサは、ウェーハ操作時の動作、位置、加速度、速度、トルクの変動を検出して補正することができます。これにより、ヒューマンエラーのリスクとそれに伴う生産ダウンタイムのコストが削減されます。安全性に関しLS-360は、汚染物質、静電気、シャープエッジなどの環境および機械的危険からウェーハを保護するように設計されています。また、Cleanroom ESDおよびFumeハザードセーフティプロトコルの要件にも準拠しています。WECON LS-360はモジュラー性が高く、あらゆる半導体処理環境に容易に組み込むことができます。また、ユニットの簡単なセットアップと構成を可能にする直感的なソフトウェアパッケージが付属しています。このマシンは、WECON Edge Control UnitやWECON Fume Sensorなどのアクセサリを追加して簡単にアップグレードできます。全体として、LS-360は効率的で信頼性の高いウェハハンドラです。高速転送能力、高度な機能、高い安全規格により、大量の半導体加工アプリケーションに最適です。ヒューマンエラーのリスクを低減し、生産性を高めることで、品質に配慮した半導体製造の魅力的なソリューションです。