中古 WECON LS-320 #9302577 を販売中

WECON LS-320は、幅広い自動生産プロセスをサポートする高度な機能を備えた高精度ウェハハンドラです。この最先端の機器は、フロントエンドおよびバックエンドの半導体製造およびパッケージング施設で使用されるように設計されています。ユニットはベースステーション、マニピュレータアーム、プリセットテーブルで構成されています。ベースステーションには、自動ローダー/アンローダー、真空システム、および2つのセンサーが装備されています。マニピュレータアームは、プリセットテーブルとの間でウェーハを転送し、組み立てるのに役立ちます。アームにはタッチセンサーとXYテーブルを搭載し、ウェーハ基板の正確な位置決めと操作が可能です。LS-320は、4「から8」までの汎用性の高いウェーハサイズの範囲だけでなく、誘電特性の広い範囲を提供しています。単位は50°Cまでの周囲/室温で作動できます。様々なクリーンルーム環境での利用にも適しています。自動ローダー/アンローダーは、ウェーハを入力およびアンロードするための信頼できる方法をユーザーに提供します。損傷のリスクを最小限に抑え、大量のウエハを取り扱うことができます。さらに、真空システムとセンサーにより、基板との接触を避けながら、ウェーハを1点から別の点へ正確にピッキングして配置することができます。また、WECON LS-320は直感的なユーザーインターフェイスを使用して操作の利便性を高めています。HMI （Human Machine Interface）は、ユーザー定義のパラメータ、カスタマイズされたレシピのストレージ容量、データロギングとトラッキング、デバッグのサポートなど、さまざまな機能をサポートしています。要するに、LS-320は高度なオートメーションとセンシング技術を駆使した汎用性の高い高精度ウェーハハンドラです。幅広い機能と直感的なユーザーインターフェイスを備えており、すべての機能により、幅広い半導体製造およびパッケージングプロセスでの容易なウェハ操作が可能です。