中古 VARIAN E19013780 #148779 を販売中

VARIAN E19013780ウェーハハンドラは、半導体ウェーハ製造環境内でウェーハを転送するために設計された自動ロボットシステムです。ウェハハンドラは、X/Y/Zモーションアセンブリ、ウェハトランスファーアーム、メインCPUからなるメインフレームで構成されています。そのメインフレームは、プロセス全体を通してウェーハのさまざまなコンポーネントの物理的な動きを提供します。X/Y/Zモーションアセンブリは、負荷キャリッジを真空および重力スライドトラックに移動するために使用されるX、 Y、およびZ軸ドライブモータで構成されています。Z軸ドライブモータは、ウェーハの真空位置と重力位置をロボットアームに調整することができます。ウェハトランスファーアームは、ウェハトランスファーアームを搬送するラムタイプのアクチュエータです。主なCPUは、与えられた指示に基づいて、動きやその他のアクションを制御する責任があります。ウェーハハンドラは、同じワークセル内のさまざまな構成でウェーハを転送することができます。ウェハトランスファーアームの構成は、ウェハトランスファーとローテーションに最大4つの異なる位置を提供することができます。これらの様々な位置は、ロボットマニピュレータがワークセル内のすべてのシーケンシャルタスクを正確に完了できるようにプログラムされています。ウェーハハンドラは、近接センサー、ライトタワー、プッシュボタン、リミットスイッチなどの多数のセンサーを使用して、ウェーハの動きを制御するためのフィードバックを提供します。ロボットアームは、垂直面と水平面の両方でウェーハを操作する機能を備えています。ウェーハハンドラのサイクルタイムは、操作に要する時間と、ワークセルの複数のコンポーネント間でウェーハを転送する時間に依存します。E19013780ウェーハハンドラは、半導体製造環境でウェーハを効率的に転送、回転、ソートするように設計されています。サイクルタイムを最小限に抑え、生産歩留まりを向上させ、ウェーハを高速かつ正確に転送できるように設計されています。ウエハハンドラはヒューマンエラーを低減し、プロセス全体におけるウエハーの正確な配置を保証します。ロボットアームは、その設計と構成に基づいて最適な性能を提供することができます。