中古 ULVAC COVOT-6 #293664128 を販売中

ULVAC COVOT-6は、最大6台のウェーハを同時に正確かつ確実に搬送できるように設計された高性能ウェーハ処理装置です。COVOT-6は、高度なロボットアームと光検出システムを使用して、ユニットの負荷ポートとアンロードポートの両方にウェーハを正確かつ再現可能に配置します。ULVAC COVOT-6は、ウエハハンドリング機能に加え、狭い場所に設置できるコンパクトなデザインを誇っています。このマシンは、スリムなボディプロファイル、低重量、小型フットプリントを備えており、すでに確立された作業環境で即座に実装できます。さらに、COVOT-6は最小限のメンテナンスを必要とし、最適な性能を確保するために真空フィルターとダストキャッチャーを装備しています。ULVAC COVOT-6は、ウェーハの積み下ろし、ウェーハ識別、マッピング、オートセンタリングなど、幅広い機能を備えています。デジタルカメラを使用してウェーハを認識し、素早くダメージのないアンロード/ローディング用に設計された真空ピックアップツールを採用しています。さらに、ウェーハハンドラはウェーハを回転させるだけでなく、3軸ロボットアームを介してウェーハを操作して配置することもできます。さらに、COVOT-6には、資産設定を自動的に調整するためのPLC （Programmable Logic Controller）があります。これにより、モデルの正確で反復可能で高性能な動作が可能になります。ULVAC COVOT-6は、視覚フィードバック用のタッチパネルと識別用のバーコードスキャナとも統合されています。全体として、COVOT-6は高度なウェーハ処理作業に不可欠なツールであり、正確なモーションコントロールと正確なウェーハ配置を確実に提供します。シリコンからGaAsから液晶までの基板サイズで、バッチ処理とワンタイム処理の両方に対応できます。軽量構造、容易な取付けおよび自動装置の設定によって、ULVACのCOVOT-6は市場の最もよいウェーハの処理システムの1つとして立ちます。