中古 ULVAC COVOT-6 #293664124 を販売中

ULVAC COVOT-6は、1サイクルで最大6つのウェーハを転送および処理するプロセスを自動化するように設計されたウェーハハンドラです。COVOT-6は、優れた精度と速度でウェーハ基板を転送するように設計されており、プロセス中に粒子や他の汚染物質の可能性を軽減します。アルバックCOVOT-6は、高精度な制御と再現可能な精度を兼ね備えた独自のサーボモータとリニアスケールシステムを備えています。このシステムにより、COVOT-6は、他のウェハハンドリングマシンのほぼ2倍の容量で、直径200mmまでのウェハを処理することができます。このシステムの再現可能な精度により、ウェーハ間の粒子や基板の移動が最小限に抑えられ、ウェーハの積載時間が最小限に抑えられます。ULVAC COVOT-6は、ウェーハスタック構成に関しても高い柔軟性を備えています。一般的な200mmウェーハから2-4積層ユニット構造までの形状に対応でき、カスタムスタック構成を素早く簡単に設定できます。スタッキングの柔軟性に加えて、COVOT-6はさまざまなウェーハ材料、サイズ、重量、および処理方法をサポートすることができます。また、ULVAC COVOT-6は、高度なアラームとセキュリティ機能を備えており、ウェーハが転送プロセス全体を通じて安全に保たれるようにします。これらの機能には、緊急停止、適切な転送距離と速度設定、およびハンドリングゾーン内の異物を検出する機能が含まれます。これらの機能はまた、ウェーハが最高レベルの注意を払って処理されることを保証します。COVOT-6は研究開発、デバイス製造、量産に最適なツールで、ウェーハの搬送、取り扱い、加工にかかるコストを削減します。また、異なるサイズ、材料、構成のウェーハを取り扱う際に、高い精度と再現性を必要とするアプリケーションに最適です。その柔軟性、精度、セキュリティ機能により、ウェハハンドリングに信頼性の高い選択肢となります。