中古 ULVAC COVOT-6 #293664122 を販売中

ULVAC COVOT-6は、6インチウェーハの高精度な転送と取り扱いを提供するように設計された完全自動ウェーハハンドラです。半導体業界では、ウェーハをある場所から別の場所に移し、オーブンや炉など特定の場所に配置するために使用されています。装置は、メインフレーム、ロボットアーム、ビジョンシステム、コントロールボード、コンベアユニットで構成されています。COVOT-6のメインフレームは堅牢でコンパクトに設計されており、スペースを占有することなく最適な性能を提供します。ロボットアームは6インチウェーハに対応する6スロットを内蔵しています。このビジョンマシンは、各ウェハの高解像度イメージングを提供し、正確な位置決めを実現します。さらに、ロボットアームにはコントローラボードが装備されており、ツール全体を簡単かつ直感的に操作できます。また、コンベアアセットを搭載し、ウェーハの効率的な搬送と所望の位置への正確な配置が可能です。ULVAC COVOT-6は、最大600mm/sの速度でウェーハをロードおよびアンロードすることができ、効率的なワークフローを提供します。さらに、その高精度は0。2mmの最大放射位置誤差を可能にします。これにより、各ウェーハがオーブン/炉に正確に配置されます。COVOT-6には、ロボットアームを清潔に保つクリーニングモデルも装備しています。また、機器への粒子の侵入を防ぐことで、さらに汚染を低減するための集塵機構を備えています。さらに、その耐久性のあるデザインは、その操作の寿命を可能にします。結論として、ULVAC COVOT-6ウェーハハンドラは、6インチウェーハの迅速かつ正確で自動化された転送と処理を提供します。このシステムは高効率、高精度、耐久性があり、産業用途での使用に最適です。