中古 ULVAC COVOT-6 #293664120 を販売中

ULVAC COVOT-6は、ラボ、生産、研究、テスト環境向けに特別に設計されたウェーハハンドリングソリューションです。75mmから300mmまで、さまざまなウエハサイズやタイプを安全に加工できるハイエンドの自動化デバイスです。この装置は、自動カセット・ツー・カセット・ウェハハンドリングとウェハー・ツー・カセット・トランスファー、および機械内部のストレージ・トレイからの保管および検索が可能です。COVOT-6はスタンドアロンシステムであり、外部コンピュータ制御を必要とせず、迅速かつ正確なウェーハ処理を可能にします。4つのサーボ駆動軸シーケンスを含む高度で強力な機能を備えており、多様な運動パターンを可能にします。単位は精密および正確さのために、サブミクロンの正確さおよび0。2度の決断と設計されています。堅牢な真空クランプユニットにより最大360mm/sの速度で、脆弱なウェーハを確実に取り扱うことができます。ULVAC COVOT-6は、コンパクトでユーザーフレンドリーな設計で、幅広いアプリケーションや実験室環境に適しています。また、デュアルウェイカセットメカニズムにより、ウェーハローディング/アンロードまたは垂直ウェーハローディング/アンロードのいずれかを可能にします。それに作り付けの衝突の状態の検出機械および安全および保証のための物理的な損傷の徴候があります。このユニットは、簡単なプログラミングと操作のためのユーザーフレンドリーなタッチパネルコントローラを備えています。COVOT-6は店舗のトレイの幅広い選択と互換性があります。研削、洗浄、選別、取り扱い、接着、検査、操作などのウェハプロセスに使用できます。集積回路、薄膜、SOI、マイクロリソグラフィなどの複数のアプリケーションにも適しています。さらに、高速な処理速度と低い運用コストでワークフローを最適化するために設計されているため、ほとんどのウェーハ処理アプリケーションに最適です。ULVAC COVOT-6は、優れたスピード、精度、パフォーマンスを提供する、汎用性と信頼性の高いウェーハハンドリングツールです。それは生産、実験室、研究およびテスト環境のための信頼でき、堅牢な十分な解決です。4つの高度なサーボ駆動軸シーケンスと組み込みのクラッシュ状態検出アセットと優れた安全性のための物理的なダメージ表示により、あらゆるサイズとタイプのウェーハを高速で安全かつ正確に処理できます。