中古 ULVAC COVOT-6 #293664119 を販売中

ULVAC COVOT-6は、半導体ウェーハ処理用途向けに設計されたウェーハ処理装置です。最大6インチのウェーハと最大4インチの厚さのウェーハスタックを処理できる、完全に自動化されたプログラマブルなウェーハハンドリングシステムです。COVOT-6は、信頼性の高いロボティクスと精密コントローラを組み合わせて使用し、あるステーションから別のステーションへの転送中にウェーハと基板をスムーズかつ正確に処理します。このユニットは、統合されたウェーハローダー、2つのウェーハハンドリングロボット、エアベアリングポジショナー、6つの処理アライナーで構成されています。ロボットアームには、2つの独立した高速6軸ロボットが搭載されており、ウェハハンドリングの再現性と柔軟性を提供します。これらのロボットは、最大トルク制御でウェーハを正確に位置決めして動かすことができます。ULVAC COVOT-6は、3段階の個別制御に精密リニアモータを搭載したエアベアリングポジショナーにより、高精度かつ再現性の高い位置決めを実現します。また、6つのオンボードマイクロプロセッサとソフトウェアコントロールが搭載されており、各アライナーがウェーハを調整して再現可能な精度とスループットを実現します。ウエハハンドリングマシンは、アプリケーションごとにカスタマイズできるHuman Machine Interface （HMI）システムを通じてプログラムおよび制御されます。また、搬送時にウェハの位置や状態を監視し、ロボットアームの動きを調整するセンサーを内蔵しています。これにより、生産品質とスループットが最大化されます。最後に、COVOT-6には、オペレータが資産のパフォーマンスに関連するデータに簡単にアクセスできるリモート監視ツールが装備されています。したがって、オペレータは、ウェーハ生産の歩留まりを改善しながら、モデル操作とプロセスを最適化することができます。ULVAC COVOT-6は、幅広い産業アプリケーションで優れたウェーハ処理精度を保証するため、半導体プロセスに最適なウェーハ処理装置です。その堅牢なロボットテクノロジーにより、スピード、精度、再現性が保証され、スループットが大幅に向上し、全体的な生産性に貢献します。