中古 ULVAC COVOT-6 #293664118 を販売中

ULVAC COVOT-6は、200mmおよび300mmウェーハを含むあらゆるサイズの半導体ウェーハを取り扱うために設計された先進的なウェーハハンドラ装置です。これは信頼性が高く、1つのプラットフォームで数多くのプロセス手順で動作し、ウェーハの効率的な転送と位置決めを提供します。COVOT-6は本体とロボットアームとロボットハンドで構成されています。本体には、制御モジュール、電源ユニット、通信ボード、ロボットアームを取り付けるための取り付けツールなど、さまざまなシステムがあります。2つのロボットアームは、それぞれ独立してまたはタンデムで移動することができ、最大200mmのサイズのウェーハを転送および位置決めすることができます。ロボットハンドは、ジグまたはトレイからウェーハをグリップして解放するために使用されます。ロボットアームには、ウェーハの動きを監視・制御するための5軸パンチとビジョンシステムが装備されています。ロボットユニットには多数のコマンドがプログラムされており、ウェーハのアライメント、転送、位置決めなど、さまざまな操作を実行できます。また、処理するウェーハの種類に応じて速度、力、加速度を変化させることができます。さらに、環境制御ユニットを使用してウェーハを環境汚染から保護する機能も備えています。このユニットは、処理する前にツールから異物をフィルターして除去します。全体として、ULVAC COVOT-6は高度で信頼性の高いウェーハハンドラであり、単一のプラットフォームで効率的なウェーハ転送と位置決めを提供します。その優れた性能と機能により、さまざまな半導体プロセスに最適なソリューションです。その高度な傷害防止メカニズムは、機械的損傷からウェーハを保護し、環境制御ガードは汚染から保護します。COVOT-6はあらゆるタイプのウエハの処理のための制御された操作の高レベルを提供します。