中古 ULVAC COVOT-6 #293664116 を販売中

ULVAC COVOT-6は、大小さまざまなウエハに対応するために特別に設計された高精度のウエハハンドリング装置です。高度なロボットシステムにより、細心の注意と精度でウェーハを処理し、ウェーハの正確かつ再現性の高い移動を可能にします。COVOT-6は、最大12インチのウェーハ、真空負荷ポート、ウェーハ搬送スレッドを扱うことができる多軸ロボットで構成されています。高度なロボットアームにより、0。2mmまでの正確な位置決めが可能です。この精度により、あらゆる軸での動きが可能になり、金型配置の精度が向上します。真空荷重ポートアタッチメントには、ウェーハの積み下ろし時の空気の流れを制御するための安全扉と通気口が含まれています。これは汚染を減らし、収量を増加させるのに役立ちます。また、ロードポート内にウェーハを正確に配置することも可能です。ULVAC COVOT-6の搬送スレッドは、最大4つのウエハを一度に処理できます。スライドは容易なローディングおよび荷を下すことのための負荷港に滑ります。ウェーハの位置合わせを目的とした位置決め装置を備えており、正確な取り扱いが可能です。COVOT-6はまた、動作のすべての段階を監視する内部セルフチェックユニットを備えています。これにより、中断の少ない連続動作が可能になります。さらに、プロセスを監視してレポートを生成し、オペレータが問題を迅速に検出して解決するのに役立ちます。結論として、ULVAC COVOT-6は、大小のウェハを正確かつ再現可能に移動させるために特別に設計されたウェハハンドリングマシンです。0。2mmの許容範囲で最大12インチウェーハに対応可能です。真空ロードポート、ウェーハ搬送スレッド、内部セルフチェックツールを備えており、すべての動作段階を監視します。ウエハハンドリング作業の精度向上と汚染低減に最適です。