中古 ULVAC COVOT-6 #293664115 を販売中

ULVAC COVOT-6は、脆弱で貴重なウェーハの取り扱いにおいて高い精度と精度を提供するように設計されたフル機能のウェーハハンドラです。本装置は、4インチから6インチまでのウェーハを取り扱うことができ、最適化されたウェーハ保護のための低圧搬送システムを備えています。COVOT-6は、市場で入手可能な最高の精度レベルの1つである± 5 μ mの再現性を誇っています。このユニットは、ウェーハを確実に固定して取り扱う自動クランピングプラットフォームを備えており、低圧搬送機は繊細な基板の表面保護を最大限に実現します。シングルウェーハのローディングも可能で、ユニット内のウェーハの位置を正確に測定する独自のポジションツールも用意されています。ULVAC COVOT-6の自動ウェーハ洗浄機能は、汚染のリスクを最小限に抑え、手動洗浄の必要性を排除し、全体的なスループットを向上させます。また、ウェーハ負荷状態を正確に監視し、効率的に管理するために、検出器と安全モデルを内蔵しています。ウエハハンドラは直感的で使いやすいインターフェースを備えており、シームレスでシンプルな操作が可能です。設定可能な設定により、ロボットやプロセスチャンバーなどの関連コンポーネントとの最適な統合が可能になり、完全な自動化された均一な転送が実現されます。また、標準ではないウェーハサイズや材料を検出して除去することもでき、モジュール設計により追加のモジュールを容易に機能に追加することができます。COVOT-6はまた、炉からチャンバーまでの精密で一貫した温度制御と超高速真空の回収率を提供します。この精度により、ウェーハを均等に加熱・冷却し、最適な製品品質を実現します。結論として、ULVAC COVOT-6は、優れた精度と精度を提供する汎用性の高いウェーハハンドリング機器です。自動化された機能と直感的なユーザーインターフェース、低圧トランスファー、クランププラットフォーム、温度制御などのさまざまな機能により、COVOT-6は効果的で信頼性の高いウェーハハンドリングソリューションになります。