中古 ULVAC COVOT-6 #293664113 を販売中

ULVAC COVOT-6は、信頼性の高いウェハハンドリング機能と超低汚染環境を提供する超低汚染6インチウェハハンドラです。このウェーハハンドラは、半導体生産アプリケーションの厳しい要件を満たすように設計されています。COVOT-6には、真空保持力の向上と平坦性の向上を提供する拡張長チャックが装備されています。そのスムーズな動作により、高性能ウェーハのハンドリングと配送が保証されます。コンパクトな設計のハンドラは省スペースのソリューションを提供し、柔軟なローディングステーションには6インチと8インチのウェーハ用のアダプタとアライメントポート用のポートが含まれています。ウェハハンドラには、高いレベルの汚染制御を提供するいくつかの機能も含まれています。特殊なトリプルシールシステムは、粒子のチャンバへの侵入を制限することにより、プロセスチャンバー内外の汚染レベルを低減するのに役立ちます。ステンレス部品の使用は、潜在的な汚染源のさらなる削減に貢献します。ハンドラーと大気汚染抑制層の寸法により、治具や治具内のウェーハの転送が迅速かつ容易になります。ULVAC COVOT-6 Wafer Handlerには、温度や真空の変化を警告するアラームシステム、入口と出口のエアダンパー、排気側の圧力ロックアウトなど、多くの安全機能が搭載されています。要約すると、COVOT-6 Wafer Handlerは、半導体生産アプリケーションの厳しい要件を満たすように設計された超低汚染、省スペースのソリューションです。その機能は、信頼性と安全性の高いウェハハンドリング、超低汚染環境、およびいくつかの安全機能を提供します。コンパクトな設計と長尺チャックはスムーズな動作を実現し、トリプルシールシステムとステンレス部品は汚染のリスクを軽減します。