中古 ULVAC COVOT-6 #293664112 を販売中

ULVAC COVOT-6 Wafer Handlerは、半導体業界のニーズに対応するために設計された、自動化された高スループットウェーハ処理装置です。それはユーザーが効率的に異なったサイズの異なった基質を扱うことを可能にし、操作の最高速度のために設計されています。ウェハハンドリングシステムは、自動ウェハ識別とバーコードスキャンを使用して、正確なアライメントと正確なウェハハンドリングを保証します。ウェーハローダーは、ウェーハハンドリングユニットにウェーハを移動させ、そこから真空チャック装置に転送します。真空チャックは、異なるウエハサイズを扱うことができ、ユーザーの要件に応じてカスタマイズすることもできます。このマシンは同時に最大6つのウェーハを処理でき、1ウェーハあたりのサイクルタイムは3分です。ウェーハハンドリングツールには、ウェーハを取り出すための真空を利用し、ハンドリング中にウェーハが動かないようにする自動ウェーハグリッピングアセットも含まれています。グリッピングアームは非常に高い保持力を持っていますが、脆弱なウェーハ表面への損傷を防ぐのに十分な柔らかいです。ウェハトランスファーステージには統合ビジョンモデルが装備されており、基板の正しいアライメントを確保し、損傷や損失を防ぎます。ウエハハンドリング装置は、最新のモーションコントロール技術を使用して、最高の精度と処理速度を保証します。このシステムは、高速動作、およびスループットと生産歩留まりを最適化するために設計されています。ユニットの真空チャックは、ハンドリング時間を短縮し、正確なハンドリングを確保するように設計されており、チャックプレート全体に放熱することもできます。自動化されたウェーハハンドリングマシンには、ウェーハの露出したエッジとの潜在的なオペレータ接触を防止するためのさまざまな安全機能も含まれています。これにより、オペレータの安全性が確保され、基板の汚染を防ぐのに役立ちます。このツールには、潜在的な故障または潜在的な問題が迅速に検出および解決されるようにする複数のアラームおよび障害検出システムも付属しています。全体として、COVOT-6 Wafer Handlerは最高速度および効率のために設計されている高性能のウェーハの処理資産です。このモデルは、複数のウェハを同時に処理できる効率的で信頼性の高いウェーハ処理装置をユーザーに提供します。ウェハハンドリングシステムは、生産速度と動作精度が重要な要素である業界向けに設計されています。このユニットには、ウェーハの露出したエッジとの潜在的なオペレータ接触を防ぎ、オペレータの安全性を確保し、基板の汚染を防ぐのにも役立ちます。