中古 ULVAC COVOT-6-X5A #293664111 を販売中

ID: 293664111
ヴィンテージ: 2015
Robot 2015 vintage.
ULVAC Covotモデル6-X5Aは、汎用性の高いウェハハンドラです。最大8インチウエハまで対応できるように設計されています。複数のウェーハを積み降ろすための2つの独立したロードポートを備えているため、ワークピースとキャリアプレートの両方を迅速かつ安全に積み降ろすことができます。その控えめなデザインとシンプルなメカニズムにより、ULVAC COVOT-6-X5Aタイトなスペースに最適です。ウェハハンドラは、高速で再現性があり、正確なハンドリング機能を提供します。ウェーハは、10mm/secまでのレートで任意のプレスポイントに輸送できます。真空吸引システムにより、搬送中にウェーハがシフトしないため、優れた繰り返し精度が得られます。COVOT-6-X5Aは、ツールセット内のウエハの正確な位置を確保するために、PMP-X4および自動センタリングフィートを装備しています。ウェーハとトランスファメカニズムを安全に接続するために、特別なロックメカニズムも装備しています。これにより、ULVAC COVOT-6-X5Aタイトなスペースでの使用に最適なウエハハンドラです。COVOT-6-X5Aは室温ブルーライトアライメントシステムも提供しています。このシステムは、精度と安定性を保証するために画像をキャプチャするために2つのCCDカメラを使用しています。精密カメラは、サブミクロンの精度アライメントを提供します。これは、わずかなアライメントが迅速に検出され、修正されることを意味します。ULVAC COVOT-6-X5Aは最高の生産のアップタイムおよび長期耐久性のために設計されています。スピードとトルク制御を備えた先進の電動モータを採用し、ウェーハのスムーズで正確な取り扱いを実現しています。モーターを過負荷から保護するために、COVOT-6-X5Aはモーターが過負荷であるときユーザーに警告するレベル警報を特色にします。全体として、ULVAC COVOT-6-X5Aはタイトなワークスペースでのウェーハ処理に最適です。高度な機能と組み合わされたロープロファイルと高速の反復可能な操作により、要求の厳しいウェーハ転送アプリケーションに最適です。
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