中古 ULVAC COVOT-6-X5A #293664110 を販売中

ULVAC COVOT-6-X5Aは、シリコン基板と非シリコン基板の両方に効率的かつ確実にウェーハ輸送サービスを提供するように設計されたウェーハハンドラです。このウェハハンドラは、優れたスタンドアロン操作または既存のファクトリーオートメーションシステムへの統合を提供するモジュール式で柔軟なアーキテクチャを誇っています。COVOT-6-X5Aは200mmまでのサイズの単一のウエハを扱うことができ、15°C ~ 40°Cの動作温度較差があります。ウェハハンドラは、相対湿度制御（20 ~ 70％ RH）を備えたHigh A/C ROOM （ISO Class 4）へのクリーンルーム環境制御を内蔵しており、粒子番号は0。03 μ m （ULVAC-ICP3濾過装置付き）です。シーケンスプログラムは、EMME/3ソフトウェアを介して簡単なプログラムリビジョンでPCベースです。これにより、簡単で直感的な製品構成、プログラムの作成、メンテナンス、データロギングが保証されます。ULVAC COVOT-6-X5Aハンドラーには、基板冷却用の4つの独立した冷却ゾーンを備えたチラー冷却システムが内蔵されています。FOUP（または他のGAP）への自動カセット交換とカセットのアンロードが含まれており、より堅牢な基板用のデュアルアームハンドラがオプションです。ウェハトランスファーユニットの構成には、最大20個のウェハを取り付けるデュアルアームが含まれており、2つの搬送軸と複数のロータリースライドモーションマシンを備えたマルチアームコントロールロボット用にプログラミングすることができます。クランピングツールは、高剛性の空圧エジェクターとエアーブロータイプバック加圧を備え、信頼性の高い安全な基板処理を実現します。COVOT-6-X5Aの配線モニターには複数の安全装置が内蔵されており、配線切断によるエラーを防ぎます。このウェーハハンドラにはPFAカバー付きベルトが装備されており、精密なウェーハ位置決め用の専用エンコーダを備えたマイクロステップモーターを搭載しており、既存の工場出荷時の自動化アセットと統合したり、スタンドアロンモデルとして動作させることができます。ULVAC COVOT-6-X5Aウエハハンドラは、運用の信頼性を確保するため、機器のアラーム解析やメンテナンスログ記録の診断機能を搭載しており、運用チェックの検証にも対応しています。また、X線 CTシステムによるメンテナンス作業を軽減するように設計されています。このウエハハンドラはCEに準拠しており、キーボード付きの天井に取り付けられたコンソールと、1組の大型モニターが含まれています。