中古 ULVAC COVOT-6-X5A #293642937 を販売中

ULVAC COVOT-6-X5Aは、半導体ウェーハのテストとローディング用に設計されたウェーハハンドラです。真空ベースのプラットフォームと1対のロボットアームを使用して、ウェーハをあるステーションから別のステーションに移動させるコンパクトな機器です。このシステムには温度コントローラが組み込まれており、材料公差が非常に低い試験動作の温度安定性を保証します。ウェーハハンドラCOVOT-6-X5A、各ステーションに最大2つのツールを備えた6インチウェーハ容量を備えています。ウェーハの正確な搬送と取り扱いを確保するために、チャックからチャックまでの真空動作をサポートする真空ベースのハンドリングマシンを使用しています。また、効率的な真空インターフェイスを備えており、バーチャルプレーンを使用して正確な高さ方向を実現します。ロボットアームの動きは、ヒューマンマシンインターフェイス（HMI）を内蔵したPCベースのコントローラによって制御されます。また、各ウェーハのテストおよび操作レシピを最適化するためのレシピプログラム編集ソフトウェアも提供しています。統合ソフトウェアツールは、予測保守機能を提供し、データ制御とトレーサビリティのための資産状態を監視します。モデルの温度調節器は100°Cまで安定した温度を維持するのにペルティエの細胞を使用します。これは、個々のツールごとに統合された温度設定ポイント制御動作をサポートしています。統合された温度調節器にまたプロセスの正確さを維持するための適応性があるPID制御があります。ULVAC COVOT-6-X5Aウエハハンドラは、オープンアーキテクチャと大きなアクセスウィンドウを備えた人間工学に基づいたデザインです。直感的なスイッチとビジュアルインジケータが機器に搭載され、オンボードのトラブルシューティングメニューにアクセスできます。また、オーバードライブおよび避難フェーズを監視するためのデジタルI/Oモジュールも備えています。COVOT-6-X5Aウェハハンドラは、半導体、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）、オプトエレクトロニクス製造プロセスなどの業界で複数のローディング、テスト、測定を実行するのに理想的な選択肢です。効率的なコンピュータ制御ロボットアーム、信頼性の高い温度制御、幅広い安全機能を組み合わせることで、非常に汎用性と信頼性の高いシステムとなり、現代の生産プロセスの要求を満たすことができます。