中古 TEL / TOKYO ELECTRON TRT-TMZZ #293639442 を販売中

ID: 293639442
ヴィンテージ: 2013
Backbone transfer module 2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TRT-TMZZは、半導体業界のリーディングイノベーターであるTEL Limitedの最新ウエハハンドラコンポーネントです。TEL TRT-TMZZは、最先端の生産性と信頼性を提供するように設計された完全に自動化されたコンポーネントです。この先進的な装置には高度な技術が搭載されており、ウェーハの高速かつ効率的なローディング、アンロード、および輸送を可能にします。TOKYO ELECTRON TRT-TMZZシステムは、TOKYO ELECTRONウェーハ加工装置や消耗品に最適化されており、部品の積載から部品搬送へのシームレスな移行が可能です。このユニットは、直感的なユーザーインターフェイスと、WIP転送とMID転送の両方を監視できるオンボードトラッキングマシンを備えています。このツールのローダーは、最大4つのウェーハキャリアをサポートし、高スループットを実現します。TRT-TMZZアセットの高度なコントローラは、操作の優れた制御と監視を可能にします。すべての操作を正確に管理するために使用できる強力なプログラマブルロジックコントローラ(PLC)を備えています。コントローラはまた、温度、圧力、または他の環境要因の偏差を検出できるため、厳密なプロセス制御を可能にします。このタイトな制御は、TEL/TOKYO ELECTRON TRT-TMZZモデルが高精度なアプリケーションで使用できることも意味します。TEL TRT-TMZZ装置には、高速輸送やフリーフローティングフォーク誘導など、多くの技術的メリットもあります。これにより、ウェーハは安定した経路を維持しながら高速で輸送され、損傷を回避できます。また、ウェーハからウェーハ、ウェーハからノズルへの衝突を防止するフローティングヘッド機構を搭載しています。TOKYO ELECTRON TRT-TMZZユニットには、作業中の労働者の安全を確保するために設計された多数の安全機能があります。これは、粉塵や破片がチャンバーに入るのを防ぐための永久ワイパー、および突然の停止から保護するためのシャットオフスイッチと「近接検出器」が付属しています。さらに、このマシンはオペレータエラーを防ぐ自動置換ツールを提供しています。つまり、TRT-TMZZは、多くの機能と利点を提供する高度なウエハハンドラコンポーネントです。TEL/TOKYO ELECTRONのウェーハ加工装置や消耗品に最適化され、高度な制御・監視技術を搭載しています。アセットの直感的なユーザーインターフェイスとオンボードトラッキングモデルにより、ウェーハの迅速かつ効率的なロード、アンロード、および輸送が保証されます。また、作業中の作業者の安全を確保するために設計された一連の安全メカニズムを備えています。
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