中古 TAKATORI TRO-25C #9358488 を販売中

TAKATORI TRO-25Cは、半導体や電子機器製造の量産用に設計された高性能ウエハハンドラです。高速かつ正確な操作を可能にし、デバイスの効率的な製造を可能にします。TRO-25Cは2つの腕で構成されています。ウエハを取り扱う外腕と吸引力とホルダー機能を備えた内腕。アウターアームは高速なリニアモーションを持ち、ウエハをインナーアームに正確に配置することができます。インナーアームは、均一なエッジ圧力を確保し、ウェーハの破損を防ぐために、ホルダーとカバーとともに、低い残留力でウェーハを保持する真空装置を備えています。ウェーハ表面は、内部アームの高真空まで充填された空気のクッションによって保護されています。TAKATORI TRO-25Cは、コンピュータ数値制御（CNC）システムを使用して、非常に高い精度を実現します。これは、アクチュエータの高いモータ回転速度と精度、および高精度の位置決めモード、センターモード、高速モード、従来の速度モードなど、各アームの駆動モードを切り替えることができるためです。TRO-25Cは、シングルウェーハおよびマルチウェーハプロセス用に設計されており、最大8インチのウェーハサイズに対応できます。これは、腕が達成することができる細かい角度と変換運動で達成されます。外側のアームには、ウェーハの周囲の空気圧を保ちながら、ウェーハを静かに捕捉して動かす特殊な機構が装備されています。TAKATORI TRO-25Cは、100mm〜200mmのウエハサイズに対応しています。これにより、柔軟性と高い生産性が可能になります。また、オートキャリブレーションやコンタミネーション管理ユニットTRO-25C搭載し、ウェハハンドリング工程の異常を監視・検知する目視検査機も備えています。TAKATORI TRO-25Cは、高精度、高速動作、効率的なウエハハンドリングを実現する高品質の部品から構成されるプロフェッショナルグレードのウエハハンドラです。このウエハハンドラは、高度な機能を備えており、電子工学や半導体製造の量産作業に適しています。