中古 TAKATORI TRO-25C #9358487 を販売中

TAKATORI TRO-25C Wafer Handlerは、半導体加工で使用される壊れやすいウェハを安全に処理するために特別に設計されたロボット材料処理装置です。高精度のZ軸モーションコントロールシステムを搭載し、ウェーハを持ち上げて目的の場所まで安全に運び、さらに広い動作範囲で半導体加工室や工場での使用に適しています。TRO-25Cは耐久の、軽量アルミニウムフレームと造られ、ウェーハの表面との接触を最小にするために控えめな設計を特色にします。このユニットはDCモーターで駆動され、高度なモーションコントロールユニットによって制御され、正確で信頼性の高い動きを提供します。送り装置および受信機は25mmまで容易にウェーハを扱うように設計されており、異なった高さおよび角度に調節することができます。TAKATORI TRO-25Cは柔軟性が高く、チャンバーへのアクセスが容易で、真空機でも使用できます。このユニットには、2つのウェーハグリッパー（真空グリッパーと機械式ピックアップグリッパー）が装備されており、さまざまなサイズと厚さのウェーハを確実に処理します。ウェーハグリッパーには、汚染物質から保護するステンレス鋼の膜が取り付けられていますが、クリーンルーム対応の設計により、ウェーハの汚染を防ぎます。TRO-25Cには、コグネックスのビジョンツールとMVSビジョンアセットという2つのビジョンシステムが付属しています。その統合された安全機能には、外付けのEストップおよびデュアルアームインターロックガードが含まれており、ローディングおよびアンローディングプロセス中にウェーハが損傷するのを防ぎます。また、操作中に発生するエラーを検出する自動エラーセンシングモデルも搭載しています。TAKATORI TRO-25Cは、組立、テスト、デバイス製造など、あらゆる半導体デバイス製造プロセスに最適です。堅牢な設計と信頼性の高い動作により、ウェーハの安全な取り扱いが保証され、高い柔軟性により、さまざまなタイプの処理チャンバに適しています。