中古 SWECO ITAL-500 #9392922 を販売中

SWECO ITAL-500ウェーハハンドラは、半導体処理環境におけるウェーハのインラインフローを正確に制御するために設計されたロボットデバイスです。エピワファー加工、ウェハプローバ、およびその他の関連システムなど、複数のウエハハンドリングシーケンスを必要とするアプリケーションで使用するために設計されています。ITAL-500は、電気機械式ウェーハローダー、ウェーハトランスポートメカニズム、スピンドルドライブ、およびオプションのスリットアームユニットで構成されています。エレクトロメカニカルウェーハローダーは、最大100ウェーハのローディング用に設計されています。ロボットノズルに近い位置に配置されたプレートにより、ローダーからウェーハを接触損傷なくピックアップすることができます。これにより、ウェーハの再現性と正確なロードが保証されます。ウェハトランスポートメカニズムは、内部トラックに沿って正確かつ反復可能な動きを提供し、ウェハの複数のピックアップおよび配送操作を可能にします。この機構は、X軸とY軸で+/-1mm、 Z軸で+/-0。5mmの動きをサポートするように設計されています。内蔵されたスピンドルドライブは、速度と方向制御を調整可能にし、輸送中のウェーハの正確な取り扱いを可能にします。速度制御は毎分0から6,000回転まで調整可能で、方向は時計回りと反時計回りの両方のモードで個別に設定できます。オプションのスリットアームユニットは、システム内のウェーハの正確なアライメント用に設計されています。ウェーハのチッピングを防止するためにウェーハガイドの渦巻きが用意されていますが、微細な2軸の動きを調整してウェーハのアライメントを維持することができます。SWECO ITAL-500は、さまざまな安全機能を備えています。同梱の2ハンドセーフティスイッチングにより、誤動作を心配することなくハンドリングを開始できます。各ピックアップと配送オフロードポイント間の動作制限は、外部干渉からメカニズムを保護するためにホームスイッチによって監視されます。さらに、ローディングとアンロード時にウェーハローダーの障害物を検出するために、300ミクロンの近接センサーが用意されています。ITAL-500の操作効率を最大限に高めるために、タッチスクリーンコントローラとティーチングペンダントが用意されています。コントローラはウェーハ処理に必要な各種パラメータのデータ入力用に設計されていますが、ティーチングペンダントは複数のウェーハ処理シーケンスのプログラミングを可能にします。さらに、Ethernetを介して既存の機器に簡単に組み込むことができ、半導体製造プロジェクトに最適なソリューションです。全体として、SWECO ITAL-500ウェハハンドラは、複数のウェハハンドリングシーケンスを必要とする半導体加工アプリケーションに最適なソリューションです。その機能と安全対策の範囲は、ウェーハの正確かつ再現性の高い処理を可能にし、その直感的なコントローラとティーチングペンダントは、簡単なプログラミングと操作を可能にします。