中古 STAUBLI TX90 #293587131 を販売中

STAUBLI TX90は、信頼性の高い効率的なウェーハローディングと転送ソリューションをユーザーに提供するために設計されたウェーハハンドラです。この装置は複数のウエハカセットを提供することができ、4〜400mmまでの直径の最大8つのウエハを装填することができます。システムのモジュラー設計により、ユーザーは200mm、 300mm、 450mmのウエハを個々に取り扱うようにユニットをアップグレードすることができます。TX90は、軸モジュール、ウェーハトランスファーアーム、ウェーハカセットの3つの主要コンポーネントで構成されています。軸モジュールは、複数のサーボモータを内蔵し、機械全体の基礎となる自己完結型ユニットです。このモジュールは幅広い動作を提供し、ウェーハの正確な読み込みと取り扱いのために最大5軸の動きを可能にします。モータはウェーハ伝達アームを作動させるように構成されており、ウェーハをある点から別の点に導いています。ウェハトランスファーアームは軸モジュールに接続され、ウェハハンドラの主成分です。ステンレス製で堅牢なシェルに封入され、必要な安全基準を満たしています。アームには、さまざまなサイズのウェーハを確実に運ぶために、いくつかのグリッピングポイントが装備されています。また、精密な取り扱いに役立つセンサーや、ウエハカセットなどの部品と常に接触するための長さに沿ったさまざまな接点を備えています。最後に、ウェハカセットはツールの不可欠なコンポーネントです。これは、ウェーハの大規模なバッチの容易なロードと輸送を可能にするように設計されています。それは陽極酸化されたアルミニウムから組み立てられ、異なったウエハの直径を収容するためにさまざまなサイズで来ます。カセットにはスプリングサポートが装備されており、ウェーハの正確な取り扱いを可能にする特別なバルブが含まれています。また、ウェーハ認識に役立つセンサーや、ウェーハ転送アームとの接触を確実にするための接点もいくつかあります。結論として、STAUBLI TX90は半導体産業に適した高効率で精密なウェーハハンドリングソリューションです。モジュラー設計で構築されたアセットは、さまざまなウエハサイズを扱うことができ、さまざまな要件に合わせて簡単に拡張することができます。堅牢な材料を使用して構築されており、安全で一貫した信頼性の高い動作、および迅速なウェハローディングとアンロードを保証します。